单晶硅材

日本Covalent Materials（原东芝陶瓷）在近日于东京都内举行的该公司的技术展上展出了直径460mm的单晶硅硅锭。除用作300mm晶圆装置的内部部件外，将来还考虑用于450mm晶圆
。 此次展出的硅锭将用作300mm刻蚀装置的上部电极使用的簇射极板（Shower Plate）以及设置在晶圆载物台上的环状调焦环（Focus Ring）等部材。上述产品该公司均已投产，部件直径达

相当于31.6亿吨标准煤。生物质能资源也十分丰富。农作物秸秆产量每年约7亿吨，可用作能源的资源量约为2.8～3.5亿吨；薪材的年合理开采量约1.58亿吨，目前实际使用量达到了1.82亿吨，超过15%左右
用能问题。 　　 （2）太阳光电转换技术中太阳电池的生产和光伏发电系统的应用水平不断提高。在我国已能商品化生产的单晶硅、非晶硅太阳电池的效率分别为12～13%和4～6%，多晶硅太阳电池也有少量的中试

所使用的硅量远较单晶硅少，又无效率衷减问题，并用有可能在廉价底材上制备，其成本预期要远低于体单晶硅电池，实验室效率已达１８％，远高于非晶硅薄膜电池的效率。因此，多晶硅薄膜电池被认为是最有可能替代
未得到广泛重视，直到７０年代世界出现“石油危机”，地面大规模应用太阳电池发电才被列上许多国家的议事日程。当时太阳能发电主要使用的是单晶硅太阳电池。进入８０年代中期，环境继能源之后，又成为国际社会普遍关注

薄膜电池由于所使用的硅量远较单晶硅少，又无效率衷减问题，并用有可能在廉价底材上制备，其成本预期要远低于体单晶硅电池，实验室效率已达１８％，远高于非晶硅薄膜电池的效率。因此，多晶硅薄膜电池被认为是最有可能

光源将石墨样品托架加热到1200℃。试验所用衬底为重掺杂磷非活性单晶硅片或非硅质底材。在1030℃下薄膜生长速率为10nm／s，研究了薄膜生长特性，薄膜的微结构，并研制了多晶硅薄膜电池，电池结构为金属
91.5MW，占太阳电池总量的34.7％。快速发展的光伏市场导致许多太阳电池生产厂家力求扩大生产能力，开辟大容量的太阳电池生产线。但目前太阳电池用硅材料大部分来源于半导体硅材料的等外品和单晶硅的头尾料，不能