制绒设备
新型晶体硅太阳电池
1常规设备的改进
2常规BSF电池的关键技术：黑硅技术
表3：金刚线切割多晶硅片的常规织绒技术还未解决
单晶硅电池与多晶硅电池的差距在缩小
空间;
多晶PERC产品存在衰减问题，目前原理仍不完全明确;
多晶金刚线切片的应用比例将快于预期，主要是由于添加剂制绒技术的应用，虽然电池效率效率下降0.1~0.2%，但是配合金刚线切割可降低成本
的影响，扩散结很难做到均匀，甚至在金字塔绒面的顶部和底部的扩散结深度相差了30%，成为了效率提升的瓶颈之一。
业内有很多方法可以改善 p-n 结的宏观均匀性，即方阻的均匀性，例如，在扩散设备内硅
改善，使得硅片表面的 p-n 结更均匀，尤其适用于绒面上有微观结构的硅片(如 RIE 制绒后的硅片或倒金字塔绒面结构的硅片)。
硅片的扩散是一个有限元扩散过程，即扩散磷(或硼)原子是先储存在氧化层中
为电能，实现光伏发电。
太阳能电池片的生产工艺比较复杂，简单说来，目前的太阳能电池片的生产过程可以分为以下几个主要步骤：
S11、超声清洗，利用超声波清洗硅片表面;
S12、制绒面，通过化学反应
清洗太阳能电池PECVD后基板表层的氮化硅，并不需要购买干冰清洗机等物理清洗方法所需要的设备以及干冰，因此又降低了清洗成本。
实施例二：
参考图 2，图 2 为本方法所提供的另一种太阳能电池
编者按：是指：从事太阳光热、光电设备和建筑的安装、建造、调 试、维修及管理的人员。从事的工作主要包括：（1）安装调试太阳热水器、太阳热水工程、太阳灶、太阳干燥装置及配套设施等。45亿年前，太阳能
太阳能装置烧饭。1839年，法国科学家Edmund Becquerel 观察到了太阳能的ink"光伏效应。1861年，法国科学家Augustin Mouchot 取得了太阳能设备的专利权。1870年
的差别：干法黑硅属于单面制备，湿法为两面制备；前者受设备参数影响较大，后者受硅片质量及工艺条件影响较大。黑硅技术可以将制绒后反射率做的很低，但是需要平衡载流子复合及钝化才能能实现效率的有效提升。行业
，国内光伏制造设备水平处于快速提升阶段，在晶体硅太阳能电池生产线的十几种主要设备中，8种以上国产设备已在国内生产线中居主导地位，其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已经
最大规模的企业。 走进徐州鑫宇光伏科技有限公司的制绒车间，两台干法黑硅制绒设备正在高速运行，工人只要放入片盒，一切交由机器完成，一台机器每天能完成7万片电池片的制绒。通俗地讲，黑硅技术就是在
径，但过于光亮的硅晶圆片会让电池片外观产生线痕问题、也会因常规酸制绒得到的高反射率而降低转换效率，所以必须再多加一道表面蚀刻的制程处理，业界普遍称之为黑硅技术。应用黑硅技术能形成亚微米级的凹坑，提升
高效电池的产业化导入。团队成员从零开始，在公司管理层的大力支持下，基于黑硅PERC高效电池黄金线，从设备的进厂装机、外围安装、设备调试、工艺优化，到电池稳定的产出，全程主导并集思广益，没有丝毫懈怠
种主要设备中，8种以上国产设备已在国内生产线中居主导地位，其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已经达到或着接近国际先进水平，多晶硅铸锭炉、多线切割机等设备制造技术取得
种主要设备中，8种以上国产设备已在国内生产线中居主导地位，其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已经达到或着接近国际先进水平，多晶硅铸锭炉、多线切割机等设备制造技术取得
