减反射膜
，Stuart从理论上和实验上对晶体硅埋栅电池做了系统的研究，采用激光开槽和机械沙轮开槽等技术开发了埋栅电池的制造工艺，包括：槽内的选择性扩散、表面二氧化硅的钝化、表面减反射膜、铝的吸杂、背电场钝化和
减反射膜，并蒸镀银电极。此种制作工艺，可以采用一连串沉积室，在生产中构成连续程序，以实现大批量生产。 同时，非晶硅太阳能电池很薄，可以制成叠层式，或采用集成电路的方法制造，在一个平面上，用适当的掩模
呢？相比单面电池，为何能有较高的发电效率？
如图1（a）所示，n-PERT双面电池的结构为：金属电极、前表面减反膜、硼掺杂发射极、n型硅、磷掺杂背场（BSF）、背面减反射膜和背面电极
。n-PERT双面电池和单面电池相比，主要在于背面结构的不同，双面电池的背面采用高透过的SiNx做钝化/减反射膜，背面金属电极和前面金属电极一样，占电池的面积~3%；而单面电池的背面电极采用全金属覆盖，如图1（b
添加剂与常规砂浆线镀膜产生差异的原因，并合理优化PECVD镀膜工艺。利用金刚线添加剂制备的不同反射率硅片与砂浆线进行系统的PECVD对照实验，并根据太阳能电池的减反射膜原理，本人构思了一种PECVD
第一二层减反射膜厚度的计算方法，具体公式为：平均膜厚*平均折射率=第一层折射率*第一层膜厚X+第二层折射率*第二层膜厚（平均膜厚-X），其中X为第一层减反射膜（靠近硅片的底层减反射膜）厚度，单位nm
能及附着力，综合考虑贵金属成本和可获取性因素，银是比较适合作为太阳能电池电极材料的。因为先前的减反射膜已经形成正面的电性绝缘，所以银浆一般掺有含铅的硼酸玻璃粉（PbO-B2O3-SiO glass
重掺杂的N型层。然后经刻蚀到达PECVD在整个N型层表面上镀上一层减反射膜用来减少太阳光的反射损失，达到丝网在扩散面印刷上金属栅线作为太阳能电池片的正面接触电极。在刻蚀面印刷金属膜，作为太阳能电池片的背面
电池片工艺流程：制绒(INTEX)→扩散(DIFF)→后清洗(刻边/去PSG)→镀减反射膜(PECVD)→丝网、烧结(PRINTER)→测试、分选(TESTER+SORTER)→包装(PACKING
、PECVD
等离子体化学气相沉积。太阳光在硅表面的反射损失率高达35%左右。减反射膜可以提高电池片对太阳光的吸收，有助于提高光生电流，进而提高转换效率：另一方面，薄膜中的氢对电池表面的钝化降低了发射结的
索比光伏网讯:电池片工艺流程:制绒(INTEX)扩散(DIFF)后清洗(刻边/去PSG)镀减反射膜(PECVD)丝网、烧结(PRINTER)测试、分选(TESTER+SORTER)包装
。减反射膜可以提高电池片对太阳光的吸收，有助于提高光生电流，进而提高转换效率：另一方面，薄膜中的氢对电池表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小暗电流，提升开路电压，提高光电转换效率。H能与硅中的缺陷或
效率提升和成本降低。其印刷的细栅能够减少遮光损失，进一步优化副栅线的高宽比，因而广受关注。
目前常规多晶硅太阳能电池工艺流程为:硅片检测、清洗制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、镀减反射膜、丝网印刷。丝网印刷
磷硅玻璃的目的是为了去除硅片表面形成的磷硅玻璃。采用CT管式PECVD炉在硅片表面形成氮化硅减反射膜，同时掺杂H元素，使缺陷减少，还可以保护硅片。丝网印刷是将含有金属的导电浆料透过丝网网孔压印在晶硅
。 亚玛顿 国内首家研发和生产应用纳米材料在大面积光伏玻璃上镀制减反射膜的企业，产品技术处于行业领先地位。性能可靠的减反膜有效地提高了光伏组件发电输出功率，取得了快速增长的经济和社会效益。已建立了市级光伏
