减反射膜
电极、减反射膜、窗 口层(Zn0 )、过渡层(CdS)、光吸收 层(CIGS)、金属背电极(Mo )、玻璃 衬底。经过近 30 年的研究，CIGS 太阳电池发展了很多不同结构。最主要差别在于窗口材料的
镀减反射膜的钝化效果，对于电池片效率的提升有着重要的意义。目前在太阳能光伏领域常用的钝化方法有:氢气氛退火、微波诱导远距等离子氢钝化、等离子增强化学气相沉积即PECVD法三种。通常PECVD法的钝化
生产应用纳米材料在大面积光伏玻璃上镀制减反射膜的企业，其研发的新一代减反射镀膜玻璃MORE系列，使宽光谱(400nm~1100nm)范围内的玻璃透光率增加3%以上，至少达到94%，从而使组件实际户外
; 5) 硅片正面沉积SiNx 减反射膜：SiNx 薄膜厚度78 nm，折射率2.08; 6) 硅片背面激光开窗：180 根线，线宽为40 m; 7) 印刷电极; 8) 高温烧结; 9) 测试分选
，提高了电池片的转换效率，因此又称SiN减反射膜;由于SiN膜中含有一定比例的H原子，因此硅片表面结构致密，具有非常好的抗氧化性和绝缘性，可以阻挡金属离子及水蒸气的侵蚀，还可以耐酸碱腐蚀，因此沉积SiN膜
理想的减反射膜材料。而且，钝化膜制备过程中还能对硅片产生氢钝化的作用，能显著改善硅太阳电池的光电效率。 在实际的晶体硅太阳能电池工艺中，氮化硅薄膜作为一种常见的钝化膜，其折射率在1.8～2.5，因此
镀膜的最优工艺参数。 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜作为理想的减反射膜,具有很好的表面钝化作用,已被广泛地用于半导体器件。沉积参数的设计和工艺安排都会显著影响氮化硅薄膜产量和质量
效率高，可靠性高; 2.先进的扩散技术，保证片内各处转换效率的均匀性; 3.运用先进的PECVD成膜技术，在电池表面镀上深蓝色的氮化硅减反射膜，颜色均匀美观; 4.应用高品质的金属浆料制作背场和电极
，开路电压也将因为短路电流密度的增大和二极管背电极复合电流减小而有所提高。通过在背部使用氧化物钝化层和局部扩散电极，结合在前表面采用倒金字塔结构和减反射膜，赵先生和他的合作者在1998年报告了在使用P型
转换效率有重要影响。目前银浆中广泛使用的是微米、亚微米级超细球形银粉，能与硅基片形成良好的欧姆接触，接触电阻较低，导电性良好。玻璃粉作为无机粘结剂，决定着导电浆料对太阳电池减反射膜的腐蚀穿透力和银膜电极与
