冶金法多晶硅

级多晶硅的新工艺技术，主要有：改良西门子法的低价格工艺；冶金法从金属硅中提取高纯度硅；高纯度SiO2直接制取；熔融析出法（VLD：Vaper to liquid deposition）；还原或热分解

西门子法主要包括三氯氢硅合成工艺，三氯氢硅精馏工艺，化学气相沉淀（还原）工艺和尾气回收再利用工艺。首先将冶金级工业硅粉（99％以上）、液氯为原料，采用电解水制氢气，氢气和氯气反应生成氯化氢，氯化氢与硅粉反应制得三氯氢硅，三氯氢硅再与氢气还原反应制得高纯度多晶硅。

。 　　（2）加工工艺知识 　　多晶硅加工成单晶硅棒： 　　多晶硅长晶法即长成单晶硅棒法有二种： 　　CZ（Czochralski）法 　　FZ（Float-Zone Technique）法

。在晶体生长中受应力等影响造成缺陷越多的硅材料，氢钝化的效果越好。氢钝化可采用离子注入或等离子体处理。在多晶硅太阳电池表面采用pECVD法镀上一层氮化硅减反射膜，由于硅烷分解时产生氢离子，对多晶硅可

比较项目 西门子法 冶金法 每吨成本 60万人民币（国内,国外稍低） 12万人民币 污染 有，同时氯气可能泄露造成污染 有，需

为18%的多晶硅太阳电池，即将开始商业化生产。硅太阳电池的生产设备由半自动化向自动化、智能化过渡（单体电池及组件）。太阳电池的测试分析技术及测试装备发展迅速。冶金硅物理提纯的太阳级硅技术有新的突破
多晶硅产品的原料、辅料、电能消耗以及降低成本等方面，于是出现了改良西门子法。 光伏太阳能论坛 Photovoltaik Solar Forum5RA#b
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。 太阳能产业长期发展的潜力及多晶硅料源缺乏的情况，吸引了许多新加入者挟着传统西门子制程或其它太阳能级的多晶硅制程，包括以传统西门子法投入的韩国DCChemical、夏威夷Hoku、西班牙