产物

2009年4月27日科技部下发文件，批准四川乐山建立国家硅材料开发与副产物利用产业化基地。根据相关规划，到2013年，乐山将形成太阳能光伏硅材料、电子硅材料、硅化工循环利用三大产业链。这是迄今为止

全国唯一的国家级硅产业基地花落乐山。根据科技部近日下发的文件，乐山市被批准建立国家硅材料开发与副产物利用产业化基地。根据相关规划，到2013年，乐山将形成太阳能光伏硅材料、电子硅材料、硅化工循环利用
相关产业，将产业链条不断做宽做长。目前，乐山硅产业已从多晶硅等初级产品向抛光硅片、芯片和集成电路光缆、电子元器件、太阳能板等下游产品延伸。 在实现产业可持续发展上，乐山成功攻克多晶硅主要副产物四氯化硅

4月27日，国家科技部给四川省人民政府发来《关于同意乐山组建国家硅材料开发与副产物利用产业化基地的函》（国科函高73号文），同意在乐山市建立国家硅材料开发与副产物利用产业化基地。产业化基地的获批
，标志着乐山市委、市政府多年来倾注了无数心血的硅产业发展，成功完成了国家基地申报工作，进入组建国家硅材料开发与副产物利用产业化基地的新时期。乐山市科技局局长郭捷如此感言国内唯一的国家级硅产业基地落户乐山

很低，在70℃以上即开始分解，高于120℃时分解产物包括Zn、C2H6、C2H4和H2等，过热会导致容器的爆炸。因此，必须从工程设计、操作维护和应急反应等方面采取相应措施，预防事故发生。 在DEZn

将上演 　　以前，多晶硅千吨级生产线技术被海外7家公司垄断，暴利很大程度上是垄断的产物。四川新光硅业科技有限责任公司的建成并达产，宣告中国已经完全掌握了千吨级多晶硅生产技术，打破了国外企业长达

资企业的产学研联合体。中硅高科通过自主研发，在国内率先完成“12对棒、24对棒节能型多晶硅还原炉，四氯化硅氢化、还原尾气干法回收、副产物综合利用”等一系列多晶硅生产技术与装备，形成具有中国特色的
建设，主体结构已封顶，部分设备已开始安装。与此同时，中硅高科正在实施一系列的技术改造、细节完善、节能和副产物综合利用工程，到年底，随着这些项目运行，在保证多晶硅质量的前提下，生产成本会进一步降低。

。我们内部评估可以在明年9月份前投产，也许刚好赶上行业景气的复苏。刘汉元透露，由于在物料闭路循环使用降低成本方面以及副产物的解决方面发挥出技术优势，通威的多晶硅生产出来后依然是赚钱的。目前大约是每吨

，多晶硅千吨级生产线技术被海外7家公司垄断，暴利很大程度上是垄断的产物。四川新光硅业科技有限责任公司的建成并达产，宣告中国已经完全掌握了千吨级多晶硅生产技术，打破了国外企业长达半个世纪的技术封锁，正式加入

实现闭环生产。据统计，用西门子法每生产1千克多晶硅，将产生大约14千克的四氯化硅副产物，闭环生产的优势不仅仅在于可以重复利用这些副产物，而且在于可以大幅度地节省处理这些副产物所必须付出的环保成本。对

——Si、 SiO2、Si3N4、SiON、W、WSix、TiN、Al等——以及有机污染物有很高的反应性，加上反应产物具有挥发性，这确保了腔室表面的微粒和 分子污染物能够清洗干净。可持续性是我们衡量工艺进步
气体流量，远程激活是激活方法的选择之一。使用同样的远程等离子体源，氟气产生的氟自由基数量是三氟化氮产生数的3.3倍，而且由于清洗蚀刻率与反应产物有关，所以会直接减少一定比例的清洗时间。氟气相比三氟化