三氯氢
Technology的甲硅烷化学气相沉积(CVD)，之后其转变为Sitec (Centrotherm Group)的三氯氢硅CVD概念(西门子法)。
显然，IDEA已经意识到现在并非进入
多晶硅市场的正确时间，供过于求步步逼近。其次，基于甲硅烷或三氯氢硅，一个新的进入者无法回击启用成熟的西门子法的低成本中国多晶硅生产商。因此，IDEA已经通过与REC Silicon联系，进行向流化床反应器的
化改造项目实现全线贯通，生产出合格三氯氢硅，创造了行业内冷氢化成功试车最快纪录。2014年8月16日16时，晶阳公司一起多晶硅项目圆满完成168小时满负荷试运，各项主要指标均优于设计值。2014年10月11日，晶阳公司顺利取得安全生产许可证，具备了正式移交生产的基本条件。
降到足够低的水平。而且，该项目的闭路循环也存在硬伤，对于后续成本下降也成问题。特别是氢化短板，导致热氢化效率低能耗高、氢化能力本身不足，不能将四氯化硅副产物都转化为三氯氢硅原料，只能外购三氯氢硅维持
氯酸（hydrochloricacid）加入冶金级的硅，进行氯化反应生成三氯氢硅（trichlorosilanes），之后加入氢气进行一次性还原产生高纯度的多晶硅（polysilicon），在整个过程中最多有25%的三氯氢硅会转化
中产生的副产物。 高纯多晶硅生产主要使用改良西门子法，该方法将冶金级硅转换成三氯氢硅，再加氢气还原成太阳级多晶硅，另外会形成副产物四氯化硅。四氯化硅遇到潮湿空气即分解成硅酸和氯化氢如果处理不当会产生
acid）加入冶金级的矽，进行氯化反应生成三氯氢矽（trichlorosilanes），之後加入氢气进行一次性还原产生高纯度的多晶矽（polysilicon），在整个过程中最多有 25%的三氯氢矽会转化
转化成三氯氢硅，再加氢气一次还原，约有四分之一的三氯氢硅转化为多晶硅，这个过程中会产生大量尾气，并有四氯化硅和TCS、DCS等副产品同时形成。这些副产物当中，四氯化硅属于危险物质，其理化性质是易潮解的
中产生的副产物。 高纯多晶硅生产主要使用改良西门子法，该方法将冶金级硅转换成三氯氢硅，再加氢气还原成太阳级多晶硅，另外会形成副产物四氯化硅。四氯化硅遇到潮湿空气即分解成硅酸和氯化氢如果处理不当会
冶金级硅转换成三氯氢硅，再加氢气还原成太阳级多晶硅，另外会形成副产物四氯化硅。四氯化硅遇到潮湿空气即分解成硅酸和氯化氢如果处理不当会产生污染问题。但是目前我国多晶硅生产企业采用改良西门子法已可做到闭路
重要环节，金属硅先转化成三氯氢硅，再加氢气一次还原，约有四分之一的三氯氢硅转化为多晶硅，这个过程中会产生大量尾气，并有四氯化硅和TCS、DCS等副产品同时形成。这些副产物当中，四氯化硅属于危险物质，其
