三氯氢

2.1.1 西门子法简介 2.1.2 三氯氢硅西门子法生产工艺 2.1.3 四氯化硅西门子法生产工艺 2.1.4 二氯二氢硅西门子法生产工艺 2.1.5 硅烷法 2.2 流化床法

以及单晶硅成本的新技术。材料行业专家表示，相比传统的西门子改良生产技术，硅烷流化床技术有两大突出好处。协鑫选择的硅烷流化床法承接了改良西门子法的三氯氢硅原料，利用了改良西门子法的部分工艺段，比改良西门子

流化床技术，被认为是最有希望大幅度降低多晶硅以及单晶硅成本的新技术。 材料行业专家表示，相比传统的西门子改良生产技术，硅烷流化床技术有两大突出好处。协鑫选择的硅烷流化床法承接了改良西门子法的三氯氢硅

多晶硅以及单晶硅成本的新技术。材料行业专家表示，相比传统的西门子改良生产技术，硅烷流化床技术有两大突出好处。协鑫选择的硅烷流化床法承接了改良西门子法的三氯氢硅原料，利用了改良西门子法的部分工艺段，比改良

降低多晶硅以及单晶硅成本的新技术。材料行业专家表示，相比传统的西门子改良生产技术，硅烷流化床技术有两大突出好处。协鑫选择的硅烷流化床法承接了改良西门子法的三氯氢硅原料，利用了改良西门子法的部分工艺段，比

多晶硅以及单晶硅成本的新技术。材料行业 专家表示，相比传统的西门子改良生产技术，硅烷流化床技术有两大突出好处。协鑫选择的硅烷流化床法承接了改良西门子法的三氯氢硅原料，利用了改良西门子法的部分工艺段，比

和还原也是化学工艺，在化工厂里建设西门子法多晶硅工厂的一个最大的好处就是无论是氯化氢或氢气原料等，还是四氯化硅、二氯二氢硅等副产品，都可以在其化工厂内进行循环使用，因此，工艺消耗可以降到最小，工艺成本

硅、电子级三氯氢硅等供应市场。项目即将投产 打造协同发展的半导体全产业链全国政协委员、协鑫集团董事长朱共山表示，协鑫经过十年技术创新和产业推动，在完成中国光伏多晶硅材料自主供应，改变中国光伏
基础上，公司进一步改变检测方法，提高硅料以及中间原料的检测精度，提升整体控制水平。公司不仅为客户提供多种规格的电子级高纯多晶硅块(棒)，在电子特气的研发方面也取得了很大进展，后期陆续会有电子级二氯二氢

制造。此种技术能够高效地利用三氯氢硅，生产耗电较少，此次获得中国专利优秀奖，是对中能硅业持续创新和重视知识产权的肯定，也意味着公司的技术创新和知识产权管理工作迈上了新的台阶。