三氯氢硅

高科技有限公司总工程师严大洲：“多晶硅还原出来的尾气，我们是采用干法回收系统，把这个尾气里面的四氯化硅、三氯氢硅、氯化氢和氢气，一个一个组份分开，然后返回我们系统使用，这个尾气几乎是百分之百的回收的。”　　在工厂

。 改良西门子法是目前占绝对优势的生产方法，绝大部分多晶硅都是用该方法生产的，占2004年世界生产能力的74％。1955年西门子公司的E.Spenke等人研究成功在硅棒发热体上用氢还原三氯氢硅来制备多晶硅

涉及GT太阳能公司最新技术的48杆化学气相沉积反应炉以及可将四氯化硅（STC）转化为三氯氢硅 (TCS)的STC氢化转换单元设备。 GT太阳能公司的首席执行官Thomas Zarrella先生

许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。 目前主流的多晶硅制备方法是针对半导体应用的西门子法。西门子法采用冶金级硅与氯化氢反应生成三氯氢硅，然后通过精馏

主要是氢气和氯气，通过三氯氢硅的氢还原反应获得多晶硅。这个过程要不断供气和供电，在炉子里多晶硅棒逐渐长大，各个环节都需要大量资源支持。 以乐山为例，其资源在国内享有比较优势。多晶硅生产是高耗能

。1955年西门子公司采用化学方法，将粉碎的冶金级硅在硫化床反应器中与HCI气体混合并反应生成三氯氢硅和氢气，Si＋3HCI→SiHC13＋H2。由于SiHC13在30℃以下是液体，因此很容易与氢

%的永祥硅业，2007年2月建成年设计能力为5000吨的三氯氢硅及其系列产品生产线，为新光硅业等多晶硅企业提供三氯氢硅。2007年，永祥公司投资设立全资子公司——四川永祥多晶硅有限公司，建设1000吨

建设一个世界级规模的有机硅综合生产基地。该基地既生产双方合作的氯硅烷、气相二氧化硅等上游产品，又生产各自的密封胶、弹性体等下游产品。氯硅烷是生产气相二氧化硅的原材料，它与氢气反应，生成产品气相二氧化硅以及

都没有。而多晶硅精密度要求非常高，生产过程中又有大量易燃易爆气体存在，如果回收工艺不成熟，三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氯气等有害物质极有可能外溢，存在重大的安全和环境隐患。 此外，多晶硅是高

。而多晶硅精密度要求非常高，生产过程中又有大量易燃易爆气体存在，如果回收工艺不成熟，三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氯气等有害物质极有可能外溢，存在重大的安全和环境隐患。 此外，多晶硅是高投入