三氯氢硅

可以通过冷氢化技术提高四氯化硅的转化率，再通过使用闭路循环来有效解决。闭路循环的使用可以有效解决四氯化硅以及三氯氢硅的排放问题，并达到回收并重复利用目的。而晶科能源事故中出现的氢氟酸污染事故，可以通过

要求也较低。晶界及杂质影响可通过电池工艺改善；由于材质和晶界影响，电池效率较低。电池工艺主要采用吸杂、钝化、背场等技术。 　　近年来吸杂工艺再度受到重视，包括三氯氧磷吸杂及铝吸杂工艺。吸杂工艺也在
作用。 　　钝化是提高多晶硅质量的有效方法。一种方法是采用氢钝化，钝化硅体内的悬挂键等缺陷。在晶体生长中受应力等影响造成缺陷越多的硅材料，氢钝化的效果越好。氢钝化可采用离子注入或等离子体处理。在多晶硅

场等技术。近年来吸杂工艺再度受到重视，包括三氯氧磷吸杂及铝吸杂工艺。吸杂工艺也在微电子器件工艺中得到应用，可见其对纯度达到一定水平的单晶硅硅片也有作用，但其所用的条件未必适用于太阳电池，因而要研究适合

通过氢化装置，能将四氯化硅加氢反应，生成三氯氢硅回到系统循环使用。另外，多晶硅生产过程中产生的氢气（易燃易爆）和氯化氢（强酸性气体），都可以在系统中作为中间原料循环使用。而三氯氢硅提纯后，无法利用的氯

。（3Q11保利协鑫多晶硅综合成本的构成情况，来源：国泰君安国际评级报告）如上图所示，电力成本、TCS（三氯氢硅）成本和折旧是多晶硅生产中最大的三项独立成本，分别占到总成本的32%、21%、16%；排在其后的是

能耗水平已降低到80kg/kWh，且生产工艺过程基本实现了循环利用。但这毕竟是少数。中国的大多数多晶硅企业还与先进水平存在一定的差距。目前国内还没有企业能做到100%的四氯化硅和三氯氢硅的循环生产，没有达到

索比光伏网讯:1.多晶硅的生产工艺：从西门子法到改良西门子法从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。1955年，德国西门子开发出以氢气（H2）还原高纯度三氯氢硅（SiHCl3），在

索比光伏网讯:1.多晶硅的生产工艺：从西门子法到改良西门子法从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。1955年，德国西门子开发出以氢气(H2)还原高纯度三氯氢硅(SiHCl3)，在

是有毒气体，倾倒土壤寸草不生。但真实情况是四氯化硅遇水会反应生成盐酸，土壤酸化板结，当然寸草不生。但是改良西门子法的核心就是通过氢化装置，能将四氯化硅加氢反应生成三氯氢硅回到系统循环使用，或者将

课题。冶金法是该集团研发的具有自主知识产权的太阳能级多晶硅生产技术，具有低成本、低能耗、低污染等优势。三氯氢硅歧化法制备高纯硅烷技术研究课题由内蒙古神舟硅业有限责任公司承担，获专项经费603万元。该