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电池宽26.46 mm*158.75 mm█ 实验计划实验计划如图2所示，包含三个子实验，分别表示为实验A到实验C：实验A目标优化TLS无损切割工艺，将TOPCon整片电池切割成叠瓦电池。实验B目标
优化热原子层沉积(ALD) Al2O3钝化层边缘钝化工艺。实验C在实验A和B中比较LSMC和TLS切割技术。实验中，所有的TOPCon电池同一批次同一效率，使用GridTouch接触的自动测试仪进行

工艺制造流程进行优化，大大降低了单位制造成本，因此单晶成为主流，大概占总出货量的98%。单晶硅的主流技术为PERC，其他技术包括异质结(HJT)，TOPCon，IBC等。异质结电池最早来自日本
电池一般为0.4%;3、光衰低，因为N型电池比P型电池杂质浓度低，转换效率高;4、双面率高，双面电池比单面电池发电效率高3-10%。不足包括1、稳定性不够好2、出货量和生产效率不够高;3、单位制

问题【1】也是p-PERC电池发展无法避免的障碍，因此国内光伏行业对各种更高效率前景以及无光衰的高效N型电池的关注程度，研发投入不断增加，N型电池的市场份额也有一定的增长。 N型硅片内部没有B
，温度系数低等优点。【3】但N型电池的市场份额一直较小主要原因还是技术成本及设备成本仍然较高。目前，常见的N型电池主要有四种：N-PERT，N-TopCon，IBC，HIT。其中IBC和HIT的

、高效还原等核心技术，N型单晶。中来股份 5GW的N型双面电池，N型双面Topcon(隧穿氧化钝化)电池，是光伏行业广泛认可的一个高效技术方向，具有易兼容现有n-PERT产线、改善PERC电池背面
光伏电池和组件产品坚持多晶与单晶技术路线并举，提供满足客户需求的高效定制化产品，其中多晶黑硅PERC电池量产转换效率行业领先。同时加大力度对双面电池组件和多主栅电池组件进行技术研发和生产线改造。在

太阳能电池组件、太阳能光伏发电以及光热一体化产品。冷氢化、三氯氢硅合成、反歧化、大型节能精馏、高效还原等核心技术,N型单晶。中来股份 5GW的N型双面电池，N型双面Topcon(隧穿氧化钝化
转换效率行业领先。同时加大力度对双面电池组件和多主栅电池组件进行技术研发和生产线改造。在光伏产业方面，协鑫黑硅PERC高效电池、MBB高效电池组件、高效双片组件、双面双玻以及阵列模块化系统集成

双面电池技术将极大的降低N型电池的单瓦成本，提升其竞争力。 1研究背景与内容随着硅片质量的提升，晶硅电池表面复合已经成为制约其效率的主要因素，表面钝化技术尤为重要。TOPCon作为一种新型钝化
的Panda-TOPCon双面电池。 2电池结构 Panda-TOPCon电池是在常规Panda电池的基础上引入隧穿氧化层和磷掺杂的多晶硅层，如图1所示。电池采用直拉法N型单晶硅片，正面依次为硼

单晶电池(HBC)实现了26.6%的光转化效率;弗劳恩霍夫太阳能系统研究所(ISE)使用等离子表面制绒技术以及隧道氧化层钝化接触(TOPCon)技术，实现多晶转换效率达22.3%。上述世界效率纪录的
至背面形成IBC结构来减少入射光的损失;背面进行平整化处理，增加背反射层将透射光重新反射入硅片表面形成二次反射从而增加光学吸收;设计双面电池结构，增加背面入射光，实现更大的光学吸收利用; (2)减少内部

黑色网格、单晶C型组件SEAC60W-310、双面组件SEAB60W-310(双面电池发电综合功率高达360W，显著提升发电量多达30%)以及1.6+1.6黑色带框组件SEBM60B
，明星产品有TOPCon技术双面电池、IBC太阳能电池、N型双面双玻组件(配合迷你边框)、新款N型半片双面双玻组件以及IBC高效组件。晋能科技异质结HJT组件依然是晋能科技的

晶硅电池由于p+发射结均匀性差导致填充因子较低，并且长期使用或存放时，由于发射结表面钝化不理想等原因电池性能会发生衰退。另外，B2O3的沸点很高，扩散过程中始终处于液态状态，扩散均匀性难以控制，且与磷
一种非常有应用前景的N型高效电池的技术。图6德国FraunhoferPassDop技术PERL电池结构示意图图7PassDop激光掺杂示意图(a)基体硅背面（b）沉积磷掺杂的a-SiCx钝化层（c）激光

发射结均匀性差导致填充因子较低，并且长期使用或存放时，由于发射结表面钝化不理想等原因电池性能会发生衰退。另外，B2O3的沸点很高，扩散过程中始终处于液态状态，扩散均匀性难以控制，且与磷扩散相比，为了获得
PERL电池结构示意图　　图7 PassDop激光掺杂示意图（a）基体硅背面（b）沉积磷掺杂的a-SiCx钝化层（c）激光开槽形成局部重掺（d）沉积Al背电极日本三菱电机的n-PERL电池则采用双面受光