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在未来三年左右可降至0.8元/W，产品效率大幅提升，凭借更高性价比赢得更高市场份额。 27%!更高转换效率与其他技术路线相比，异质结电池生产步骤较少，仅制绒清洗、非晶硅镀膜、TCO膜制备
异质结和TOPCON被称为后PERC时代的两大技术路线，潜力巨大。据了解，目前已有多家企业宣布相关产能规划，但受限于设备、资金、技术、市场等因素，真正落地的屈指可数，多数人还处在观望状态。在首届

降低。 (二)聚焦薄膜质量+生产效率，设备厂商多角度挖潜 PECVD 提效降本是一个系统工程：PECVD 是 HJT 技术产业化的核心瓶颈之一，未来主要优化方向为保证镀膜质量的同时放大设备产能
非晶硅薄膜的制备环节，但并未针对 HJT 技术做特殊的开发。 4、理想万里晖：频率自适应技术提高镀膜质量，套盒结构助力产能升级上海理想万里晖薄膜设备有限公司于 2012 年 4 月从母公司理想能源

首家采用国际最先进的清洗制绒机、PECVD非晶镀膜机、PVD沉积导电膜机和电极印刷机，匹配自主研发的高效工艺技术路线，产品三十年无光衰，项目为黑灯柔性智能无人车间，全部采用物联网+管理系统的高智能无人
%。作为行业内率先布局异质结的企业之一，东方日升在HJT技术研发、量产等方面均具备领先优势。其推出的行业内首款半片HJT组件产品，效率高达21.9%，温度系数为-0.24%/ ℃，稳定的温度系数，保证

RPD设备已经在爱康中试研发线进行了引进，在后续扩产前将在某些关键工艺设备上实行共同研发，主要聚焦等离子化学气象沉积镀膜设备(PECVD)和新式TCO镀膜设备，双方将共同开发具有自主知识产权和技术

，通过 TCO 薄膜可以实现导电、减反射、保护非晶硅薄膜的作用。电极金属化：通过丝网印刷在电池正背面印刷银浆制备电极，或通过无主栅/铜金属化技术实现电极金属化。与 P-PERC、TOPCon
PECVD/HWCVD 设备技术壁垒较高，目前以 Ulvac/MB/AMAT/Jusung 等国外设备为主。TCO 薄膜沉积环节的 RPD/CVD 设备目前同样以国外设备为主，主要供货商包括

切割前后的效率差控制在 0.3%左右，为异质结叠瓦组件应用提供基础。在沉积 TCO 薄膜环节， RPD 工艺应用潜力巨大。PVD 工艺是当前沉积 TCO 薄膜的主流技术路线，在薄膜电池
清洗制绒设备约 13.5-18 亿元;非晶硅沉积设备约 72-96 亿元;TCO 镀膜设备约 49.5-66 亿元;丝印烧结设备约 31.5-42 亿元;其他辅助设备约 12.5-18 亿元。各环节

沉积)两种方法。 RPD(反应等离子体沉积)技术主要由日本住友重工掌握，其设备匹配自己生产IWO(氧化铟掺钨)靶材制备IWO透明导电薄膜，其采用蒸发镀膜对衬底轰击较小，IWO薄膜电学性能明显优于
较大，ITO薄膜的电学性能差于IWO薄膜。但是PVD技术较为成熟，而且设备相对便宜。最近出现了用PVD制备新种类的TCO薄膜，拉近了两者的技术差距。大部分设备厂家也是采用此技术。国外主流厂家为

)。 HIT投资成本因设备配置变化而改变。其取决的因素包括采用完全进口设备还是部分国产设备;同种工艺选择何种设备，比如非晶硅沉积选择HWCVD还是PECVD，TCO镀膜选择RPD还是PVD。目前，全
%。全球光伏产业链在中国，产量出口双增。光伏产业是指将硅料通过各类技术和工艺路线生产出太阳能电池片，并将太阳能电池经过串并联后进行封装保护形成大面积的太阳能电池组件，再配合功率控制器等，形成光伏发电

传输系统、HIT双面无翻转镀膜系统、HIT高迁移率TCO项目、高效臭氧清洗技术开发、高效HIT电池印刷技术开发等太阳能电池产品及技术方面有了较大突破。并在异质结双面组件开发，超大硅片(210/166) 组件开发、500W高效组件开发等组件产品研发方面在行业内取得一定成果。

异质结是光伏行业的第五次技术革命。相较于传统电池，异质结电池生产工艺步骤大幅减少，主要工艺仅4步，分别为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应设备为制绒机、HWCVD/PECVD
) ◼ 最薄硅片技术(低温工艺、结构对称与效率提升) ◼ HJT适用所有组件技术 ◼ 最低组件成本与硅片成本 ◼ 最佳的技术延展性(双面电池、HBC与Tandem) 异质结电池产业化挑战 ◼ 最简洁4

。 3.1海外异质结设备成熟，量产转换效率达到 24% 异质结生产环节主要有 4 道工序，分别为 1)表面处理：制绒;2)非晶硅镀膜;3)TCO沉积和 4)金属化：丝网印刷
。非晶硅镀膜：异质结技术核心步骤，梅耶博格、理想能源、美国应材为当前主要供应商。非晶硅镀膜是异质结技术的关键。当前的主流技术为 PECVD 技术路线，不过 CAT-CVD 和 ALD 也在被推广

，异质结工艺流程大大简化，但对工艺的要求却更为严苛，如洁净度、真空度、温度控制、镀膜质量等，比现有的电池技术要求都要高出一个量级。异质结电池成本下降路径清晰可期。截至 2018 年底，异质结电池
(异质结)电池产线外，还可应用于 OLED、钙钛矿电池等诸多领域。拆解异质结产线投资，其中非晶硅膜沉积及 TCO 镀膜占据研发实力及价值链制高点。其中，非晶硅镀膜 PECVD 及 TCO 镀膜的