6月13日,在河北保定召开的SEMI PV China夏季会议上,由中国电科48所牵头制订的SEMI标准《Test Method for In-line Monitoring of Flat Temperature Zone in Horizontal Diffusion Furnace》(《卧式扩散炉恒温区在线检测方法》)正式颁布实施,标准编号为:SEMI PV53-0514。该标准的发布
索比光伏网讯:6月13日,在河北保定召开的SEMI PV China夏季会议上,由中国电科48所牵头制订的SEMI标准《Test Method for In-line Monitoring of Flat Temperature Zone in Horizontal Diffusion Furnace》(《卧式扩散炉恒温区在线检测方法》)正式颁布实施,标准编号为:SEMI PV53-0514。该