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推动是异质结电池产业化的根本动力，作为异质结装备与技术服务商，金石能源是全球最早进行异质结电池装备研发的企业之一，金石能源拥有PECVD和PVD等核心设备自主知识产权，整线装备输出得到了量产线的验证
放电技术。13.56MHz射频技术的优点有：1. 13.56MHz射频(RF)等离子体辉光放电技术可以完美适用于大腔室的PECVD设备，可以实现大腔室PEVCD设计。公司采用此技术推出了800MW

亚化咨询《中国异质结电池项目数据库》显示，2022年以来，国内新增建设和规划中的异质结电池产能高达109.2GW，为技术和设备供应商带来巨大的市场机会。太阳电池即将进入25%+量产效率时代
，于5月26日开工。4.8GW项目将在2023年Q1-Q3分两期完成全部设备搬入和调试投产。2022年5月，华晟新能源与大理州政府、华能澜沧江水电股份有限公司正式签署合作协议，将在大理经济技术开发区

近期，2022年度江苏省工业和信息产业转型升级专项资金(第三批)拟安排项目公布，晟成光伏“基于PECVD&PVD技术的高效节能TOPCon电池镀膜设备的研发”项目成功入选关键核心技术(装备)攻关
基础高级化、产业链现代化水平。晟成光伏高效节能TOPCon电池镀膜设备，基于智能制造设计理念，采用具有自主知识产权的硅片清洗技术、PECVD&PVD结合的新型工艺路线及动态镀膜技术，实现TOPCon

制造产能超过1GW，CVD、PVD及扩散氧化类设备具备较高的自主研发能力，产品达到行业一流水平；储能电池产业链初步形成，先进储能材料产业全国领先，正极材料产能领跑全国，隔膜、电解液产能规模位居全国前三
。装备技术方面，打造了以长株潭地区为中心的先进新能源装备及产品开发和验证平台；低风速风机、智能风机、超大产能异质结专用PVD设备、1500V/2.5MW光伏发电逆变升压一体机、叶片及线路融冰等先进产品和

TOPCon光伏电池背钝化镀膜设备的优缺点进行深入分析，晟成光伏决定采用PECVD镀膜与低损伤PVD镀膜相结合的技术方式来制备TOPCon电池的背面隧穿二氧化硅膜层和掺杂非晶(碳化)硅膜层。该技术方式可以有效
。晟成光伏TOPCon技术二合一镀膜设备，其低损伤PVD镀膜结构设计可以有效提高膜层的钝化品质，碳化硅膜层的加入可以减少长波段光的吸收损失以及提高TOPCon电池的电流密度。同时，晟成光伏

多晶硅膜结合传统的磷扩散工艺;LPCVD制备多晶硅膜结合离子注入磷工艺;PECVD制备多晶硅膜并原位掺杂工艺;PVD制备多晶硅膜并原位掺杂工艺，其中LPCVD技术工艺成熟且已实现量产，并且设备国产化
型TOPCon电池规划产能超过60GW，预估出货约15GW以上。每一种太阳电池结构都有其自身能到达的效率极限，技术迭代是历史必然。从钝化原理可能达到的最高电池效率与目前光伏电池设备供应链生态成熟度

;PECVD 制备多晶硅膜并原位掺杂工艺;PVD 制备多晶硅膜并原位掺杂工艺其中 LPCVD 技术工艺成熟且已实现量产，并且设备国产化完善，但绕镀、成膜速度慢等仍为目前工艺主要问题。 LPCVD
、靶材国产化、设备降本来实现。 3.IBC电池 IBC是指交叉指式背接触电池技术，将P/N结、基底与发射区的接触电极以交指形状做在电池背面。IBC电池拥有高转换效率，外观上也更加美观，尤其适用于

，TOPCon产线为2.2亿/GW，两者已经非常接近。新上PERC产线一般都预留了TOPCon升级空间。业内人士介绍，每GWPERC升级TOPCon工艺路线的设备成本在5-6千万左右。从电池制备
环节看，TOPCon相比PERC增加/替换的主要设备为B扩散、隧穿氧化层及poly Si沉积设备，其余环节基本与PERC产线兼容。光伏设备专家介绍，老旧PERC产能改扩建TOPCon，可采用管式

了大产能、连续镀膜PECVD设备、PVD设备等，实现了异质结高效太阳能电池生产线的国产化，并且达成了异质结整线设备的首次出口。今后，迈为将继续以自主研发与技术创新不断推动异质结高效电池制造整体解决方案的升级与迭代，助力全球异质结产业快速、健康地发展。

太阳电池的新的世界记录，对未来进一步降低HJT电池成本具有重要意义。中科院电工所王光红也报道了掺氢TCO薄膜方面的研究进展。中科院电工所与国电投公司合作研究了使用RPD和PVD对于ICO的研究结果s
。南昌大学的黄海滨教授介绍了其制备的国产热丝CVD设备，用来制备HJT电池，效率达到了24.7%，处于国内领先水平。中科院上海微系统所报道了其在非晶硅氧层对HJT电池的改性的影响。揭示了低掺氧i层

区、辅助动力区、辅助办公区。采用激光切割机、制绒清洗机、PECVD、PVD、丝网印刷机等设备进行新型高效电池中试与研究开发，新型高效电池预计产能1200MW，配套建设辅助工程(动力站、特气站、酸库及碱库等
系数低、双面率高、弱光效应好等优点。从设备上看，异质结(业内称HJT)主要生产工序涉及的专业设备，有清洗制绒机、PECVD、PVD、丝网印刷机等。

太阳能电池PVD真空镀膜设备、全自动太阳能电池丝网印刷机等。公司与隆基股份、通威股份、天合光能、晶澳科技、晶科能源、阿特斯等主流光伏企业保持了良好的合作，产品远销东南亚、印度、土耳其、韩国等海外市场。截止
达产后可实现年产PECVD、PVD及自动化设备各40套，建设周期预计为三年。根据CPIA的预测，2022年N型电池（含TOPCon和HJT）有望实现快速放量，占比将从2021年的3%提升至13.4

4月10日，湖南红太阳光电科技有限公司研制的210大尺寸微晶异质结PECVD设备正式发往某客户工厂，这是公司继2021年4月发布大产能异质结专用PVD设备后，又一新的里程碑，标志着公司在异质结领域
CVD+PVD双核牵引战略布局实现重大突破。在国家光伏装备工程技术研究中心平台的支撑下，公司一直致力于异质结PECVD设备研发，近两年时间先后推出了第一代原理机，第二代准量产机及本次的第三代量产

有望超400亿元，2020至2025年行业复合增速超80%。曲小溪认为：迈为股份定增项目投产后将提升PECVD和PVD设备国产供应水平，降低HJT产线投资成本。目前，HJT产业化正在加速进行，公司
智能制造装备的设计、研发、生产与销售，目前的主导产品是太阳能电池丝网印刷生产线成套设备。目前，公司在该领域的技术和性能优势较为明显，市场占有率稳居前列。截至2021年12月底，公司总资产为97.76亿元