研究较早,特别是对单晶硅表面制绒剂研究最为详尽,也取得了丰硕的成绩。Arndt R A 等 早在1974 年就成功研制了单晶硅表面制绒剂,其主要成分是碱液,它能在单晶硅表面形成金字塔结构,以降低反射率 ,且成本不高。但碱液制绒剂作为一种工业上常用的产品,依然存在腐蚀反应速率过快、硅片表面金字塔结构不均匀、产生的气泡不能快速脱离硅片表面等缺点。郭爱娟等 研究了在碱液制绒剂中加入四甲基氢氧化铵
摘 要:新型无醇添加剂碱溶液制绒可使硅表面形成1~3 m 的金字塔结构;通过对制绒过程研究,硅表面损伤层在250~500 s 被腐蚀掉,同时金字塔结构铺满硅表面,从500 s 延长至到1000 s 时,金字塔尺寸由1 m 增大到2 m 以上,1250 s 后金字塔尺寸达到平衡。不同添加剂配方可影响单晶硅表面的金字塔尺寸和均匀性,但对表面反射率影响不大。
0 引 言
晶面为(100