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电池材料，其上层电池材料最优的带隙大约在 1.65-1.7eV 左右。考虑到光学损失及光致次带隙等各种因素，钙钛矿材料是优选的材料。钙钛矿/晶硅叠层太阳能电池的工作原理是利用不同的带隙吸收不同的
底电池的更优选择。理论上底电池可以采用 P 型电池或 N 型电池，但都需要在顶电池形成隧穿结以及一层(导电)光学层。底电池正面无需镀减反射膜，也无需金属化。由于底电池不导电，因此不适合采用标准

带电子; 2. 导带电子通过雪崩电离和焦耳加热吸收能量形成等离子体; 3. 等离子体通过电子声子耦合将能量传递给材料品格; 4. 品格被加热材料熔化、升华; 5. 物质的热扩散和声声冲击波引起
激光从扫描振镜输入端中心输入。 2.5光路清洁维护 1. 作用：保证光路上各镜头(片)的洁净度，决定了它们是否能够发挥本身的光学性能：比如透光率、反射率等等。光路系统的维护主要指各个光学镜头(片

等离子体能量分布相对集中且离化率更高，高能离子较少，表现出低离子损伤的优良特性。同等条件下，RPD 技术制备的 TCO 薄膜结构更加致密、结晶度更高、表面更加光滑、导电性更高、光学透过率更好1。此外
电池背表面光反射，减少光损失，进而提高电池转换效率和电池性能。PERC 电池内部反射增强，有效降低了长波的光学损失，背面钝化提升了开路电压和短路电流，使得电池转化效率相比传统 BSF 电池更高

上成本最高的部分称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统用在硅异质结(SHJ)技术上成为可能，并且最近已经由Hevel LLC实现。 SHJ太阳能电池的简单结构，结合其高效率和低温处理的优势，使
调整a-Si:H膜性质来实现。实际上，a-Si:H层通常是采用PECVD方法在接近200℃温度下的纯硅烷或硅烷氢混合物中的平行板电容耦合等离子体放电进行生长的。表面钝化的最关键工艺参数似乎是氢硅烷气体

效率的方法，考虑了新标准的太阳光谱、硅片光学性能、自由载流子吸收参数以及载流子复合与带隙变窄的影响，当硅片厚度为110m时，单晶硅太阳电池理论效率为29.43%。硅异质结(SHJ)太阳电池的模拟指出
的复合损失。以上各种能量损失的途径可概括为光学损失(包括(1)、(2)和(3))和电学损失(包括(3)、(4)和(5))。为了提高太阳电池效率，需要同时降低光学损失和电学损失。降低光学损失的

的极限效率的方法，考虑了新标准的太阳光谱、硅片光学性能、自由载流子吸收参数以及载流子复合与带隙变窄的影响，当硅片厚度为110m时，单晶硅太阳电池理论效率为29.43%。硅异质结(SHJ)太阳电池的模拟
材料缺陷等导致的复合损失。以上各种能量损失的途径可概括为光学损失(包括(1)、(2)和(3))和电学损失(包括(3)、(4)和(5))。为了提高太阳电池效率，需要同时降低光学损失和电学损失

2.1SiNx薄膜钝化研究 SiNx薄膜的制备方法有多种，从工艺效果和工业化生产来考虑，目前应用于太阳能电池生产的制备方法主要是等离子增强化学气相沉积(PECVD)法，PECVD方法的过程是在
较低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上产生辉光放电，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜

与工程学系更名为材料科学与工程学院。上海交通大学太阳能研究所太阳能研究所成立于1996年，隶属于上海交通大学理学院物理系，拥有光学工程一级学科硕士点，同时依托物理学光学博士点、凝聚态
电子信息与光学工程学院南开大学于1995年在原电子科学系与现代光学研究所、光电子薄膜器件与技术研究所和计算机与系统科学系的基础上，组建了信息技术科学学院。1999年学院开始实体化运作。经过十余年的建设

等离子体增强化学气相沉积法、氢化非晶硅、热氧化法、原子层沉积法以及叠层钝化，并分别介绍了它们在应用上的优缺点。分析了制备钝化膜过程中存在的问题，并提出了相应措施及发展趋势。表面钝化技术是提高晶体硅电池
两者的优化，制备出了宽光学带隙、高电导率和致密性较好的P型非晶硅材料。作为窗口层应用到HIT太阳电池中，对其厚度进行优化，在n型单晶硅衬底上制备出了效率为14.28%的HIT太阳电池。文献中何悦等利用热

摘要:利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积给定折射率的氮化硅薄膜,通过正交实验法对衬底温度、NH3流量和射频功率3个对氮化硅薄膜沉积速率影响较大的工艺参数进行全局优化和调整,得到了氮化硅
镀膜的最优工艺参数。 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜作为理想的减反射膜,具有很好的表面钝化作用,已被广泛地用于半导体器件。沉积参数的设计和工艺安排都会显著影响氮化硅薄膜产量和质量

，氧化硅(SiO2)、氮氧化硅等也可作为背面钝化材料。此外，为了完全满足背面钝化条件，还需要在氧化铝表面覆一层氮化硅(SiNx)，以保护背部钝化膜，并保证电池背面的光学性能。故PERC电池背面钝化多
，涉及到了厂房布局、自动化匹配、整体工艺优化重点。表：PERC电池工艺路线发展背面钝化工艺 ◎ 等离子体增强化学气相沉积法 等离子体增强化学气相沉积法是利用辉光放电的物理作用来激活粒子的

。在该电场中，电子撞向阴极，而正离子撞向阳极。若正离子的能量能使阴极游离出新的电子，辉光放电就转化为弧光放电，即形成电弧。由此可见，电弧是一种气体游离放电现象，也是一种等离子体。从宏观来看，光伏系统
高温，虽然现在已有测量局部热点的技术，但对于大型光伏电站而言成本过高;声学上，电弧燃烧会发出噪声，该特性可用于汇流箱内的电弧检测，而其他位置的电弧不适合用此种方法检测;光学上，电弧燃烧会发出特定频段的

单晶电池(HBC)实现了26.6%的光转化效率;弗劳恩霍夫太阳能系统研究所(ISE)使用等离子表面制绒技术以及隧道氧化层钝化接触(TOPCon)技术，实现多晶转换效率达22.3%。上述世界效率纪录的
实现，都使用区别于常规晶体硅电池制造技术的技术，总结下来，提高晶体硅太阳能电池转换效率主要有以下三个方向： (1)提高光学利用率优化电池片表面陷光结构以及减反射膜，减少正面金属遮挡，甚至转移

为国家重点一级学科。2014年7月，材料科学与工程学系更名为材料科学与工程学院。上海交通大学太阳能研究所太阳能研究所成立于1996年，隶属于上海交通大学理学院物理系，拥有光学
工程一级学科硕士点，同时依托物理学光学博士点、凝聚态物理博士点和理论物理博士点，为国家培养高水平的光伏科学与工程的专门人才，现有硕士生9名，博士生6名，博士后2名。在科研方面，完成了国家“九五”科技攻关

& 985 上海交通大学太阳能研究所太阳能研究所成立于1996年，隶属于上海交通大学理学院物理系，拥有光学工程一级学科硕士点，同时依托物理学光学博士点、凝聚态物理博士点和理论物理博士点，为国家培养
》。该所已建成一条相对完整的晶体光伏电池中试线(可年产光伏组件50kW/年)，包括：高纯水制备、半导体清洗、扩散、氧化、光刻、等离子刻蚀、PECVD化学汽相沉积、烧结、真空蒸发镀膜、RF溅射镀膜和离子束

索比光伏网讯:PECVD( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子
、PECVD原理PECVD 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体

本次就携该新品参展，小编从天合光能的工作人员处了解到“电多多s”已经实现了首次量产，其采用了第二代多晶技术，发电量提高5%，光电芯科技使电流传输路径缩短40%，6倍微距光技术让光学利用率上升到35
用量，防止源液倒流; ·设备运行可靠，有效工作时间98.5%以上。管式PECVD设备 M82200-10/UM型PECVD采用直接式等离子沉积方式，可生产出质量极佳的晶体硅太阳能电池减反射涂层