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备受行业青睐。中来作为国内最早一批量产n 型双面 TOPCon 电池的企业，成功开发并上线了基于等离子氧化及等离子辅助原位掺杂(POPAID)的 J-TOPCon 2.0 技术，生产的
，在2019年就已经实现小规模IBC电池出货。BC电池技术作为公司储备的技术，公司仍在持续开展创新升级等研发工作。张耕介绍到，中来正在研发将传统电池优异的钝化性能与IBC的光学特性相结合的BC电池

的表面复合速率大大的降低，电池的开压VOC可以提升15-20mV。而且，由于背面钝化层可以增加光学内反射作用，因此电池的电流ISC也会有显著的提升。2012年，由中电光伏牵头承担的国家“863”专项
，主要使用化学气相沉积法，所以也带来多种沉积路线的探索与试错。初期，行业曾在原子层沉积(ALD)设备和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备中抉择，而随着工艺的成熟，且PECVD设备进行电池正面

，寄生吸收大且制造成本高，同时需考虑外接两种不同型号的逆变器。3)光学耦合的四端器件：通过二向色镜将穿过顶电池的光反射到底电池，但二向色镜成本极高。(4)串联-并联(S-P)叠层器件：存在电流匹配
在于散射能力较弱、激光刻蚀性差、材料和制程成本高、在等离子体中不够稳定。FTO 玻璃：导电性比 ITO 玻璃略差，但成本较低、容易激光刻蚀，目前主要用于 Low-E 玻璃，改变雾度和导电性后可做

、生物刺激素、昆虫信息素、天敌昆虫、微生物除草剂80.废气、废液、废渣综合利用和处理、处置81.有机高分子材料生产：飞机蒙皮涂料、稀土硫化铈红色染料、无铅化电子封装材料、彩色等离子体显示屏专用系列光刻浆料
、小直径大比表面积超细纤维、高精度燃油滤纸、表面处理自我修复材料、超疏水纳米涂层材料、超高折光学树脂材料、环保可回收太阳能组件用共挤背板及背板用塑料材料、汽车启停铅蓄电池隔膜、储能铅蓄电池隔膜82.

关键技术问题，重点研究大口径光学/红外望远镜及科学探测技术，射电望远镜及科学探测技术，空间望远镜及科学探测技术，为主导建设国家重大天文观测设施、取得重大天文发现提供技术支撑。11.量子材料与器件围绕量子
认识强相互作用力的本质，揭示物质质量来源和元素起源。16.热核聚变中的关键科学问题围绕热核聚变能源应用需求，面对全新的等离子体状态，重点研究不稳定性及湍流和输运；边界等离子体物理和控制；多束激光等离子

材料，提高TCO导电薄膜的电导率，改善光学性能，提高透光率，降低制备成本并实现产业化，成为研究的热点。本文采用不同的技术手段进行TCO导电薄膜工艺参数对薄膜性能参数的影响分析，为提升异质结电池的转换效率
迁移率、较低的载流子浓度，因而能够在近红外区域获得较大透过率的同时保持较好的导电性能，它是一种新型TCO薄膜。影响IWO薄膜光学性能、电学性能的因素很多，本文主要研究了氧氩比(O2/Ar2)对IWO薄膜

出的、采用13.56MHz射频(RF)等离子体辉光放电技术制备的高效双面微晶异质结电池。13.56MHz射频技术已经经过多次验证非常适合规模量产高效双面微晶异质结太阳电池，该项技术可以实现大腔室
，并结合旗滨集团新一代双镀玻璃，有效提高了光学增益。同时，组件还进行了相应的结构和工艺优化，实现了电池高密度封装，再采用公司超低电阻率的电极连接专利技术，提升了异质结组件的电极连接可靠性，并且大大降低串

在于利用光在不同界面处的反射进行干涉相消。当膜层的光学厚度为某一波长的 1/4 时，则利用光波 180°的相位差可以进行叠加相消，氮化硅的折射率为 1.9，是最佳的电池减反膜材料。此外，氮化硅膜
，减少光学损失，金刚线切割硅片经过清洗制绒后表面反射率可从50%降低至 15%以下。(2) 扩散使用液态磷源(三氯氧磷)/硼源(硼酸三甲酯等)在高温作用下在硅片表面扩散沉积，主要作用是形成电池的 PN

波段的光谱响应;2) 改进了硅片背面的抛光工艺和激光开膜的结构，使该类太阳电池的光学损失达到了最小;3) 硅片越薄，生产过程中的碎片率就会越高，为有效降低碎片率，对该类太阳电池制备过程中的关键工艺
高，输出功率增大到一定程度后，激光辐照的掺杂区域的温度会瞬间升高并会超过阈值，导致掺杂区域的离化等离子体挥发，从而产生刻蚀凹槽现象，发射极因表面浓度降低而出现方阻值增大的情况。2.2 激光掺杂 SE 工艺对

建筑风格，全黑组件展示了光学与太阳能应用的完美结合，让建筑有了灵魂;中来率先攻克了N型技术，领先的N型TOPCon 2.0技术让组件转换效率更高，持续引领N型技术创新升级;尺寸方面，根据户用屋顶的
，基于线性等离子体技术，链式平台传输，无绕镀单面沉积，工艺简洁、高效。“经过持续的创新优化，目前中来的TOPCon 技术已经升级至2.0阶段，转换效率目标为23.5-25%，3.0时代很快到来，届时

电池片。开展钝化接触、异质结、全背接触等高效晶硅太阳电池技术的规模化量产，开发耐高湿高盐的海上光伏电池及组件技术。提升高效稳定钙钛矿-硅叠层太阳电池、碲化镉薄膜电池产业化能力。支持低反射率绒面制备、等离子
导电氧化物(TCO)导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备;多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备(PECVD)、干法刻蚀机

利用光在不同界面处的反射进行干涉相消。当膜层的光学厚度为某一波长的 1/4 时，则利用光波 180的相位差可以进行叠加相消，氮化硅的折射率为 1.9，是最佳的电池减反膜材料。此外，氮化硅膜在制备的
(单晶)，利用各向同行和各向异性原理对硅片表面进行腐蚀，去除硅片表面机械损伤层;清除表面油污和金属杂质，形成洁净表面;形成起伏不平的绒面，使入射光在表面进行多次反射和折射，延长光程，减少光学损失

工艺设备，特别是板式PECVD设备，已接近成熟，将带动HBC电池工艺的成熟。HBC电池，能避开HJT电池前表面的金属电极光学遮挡和高电阻带来的效率损失，从而拥有比HJT电池更高的转换效率。 (3
，电耗偏高。而PECVD，凭借良好的质量和稳定性成为主流非晶硅薄膜沉积设备，特别在制备氢化非晶硅方面。板式PECVD通过微波或射频波使腔室内的反应气体分子电离，形成的高化学活性等离子体，在基片表面发生

J-TOPCon 1.0。 2018年 2018年，公司率先实现了N型双面TOPCon电池的1.5 GW大规模量产，量产的平均转换效率达到22.5%。同年6月开始进行基于等离子氧化及等离子辅助原位掺杂
方法是采用高方阻的发射极来降低复合损失，搭配密栅(更小的栅线间距pitch)来降低载流子的横向传输损失; 2)降低背面的非理想光学损失，如采用更加薄的n+ poly降低自由载流子的吸收，通过改善背面

) 工艺沉积，而旋涂用于在吸收层上涂覆 PCBM。厚度为 200 微米的商用直拉生长 n 型晶体硅晶片用于异质结电池。通过簇系统中的等离子体增强化学气相沉积在电池上生长非晶硅层。研究人员解释说，在
传统的四端钙钛矿/硅配置中，短波长范围内的太阳光谱被钙钛矿顶部子电池吸收，而剩余的光则被下面的硅异质结子电池吸收。然而，并非所有对应于底部子电池光学带隙的光子都能产生，他们进一步解释说。在建议的

)RuO2 NP的TEM图像(RuO2 NP的尺寸分布直方图和HRTEM图像)。(d)RuO2 NPs的吸收，局部表面等离子体共振(LSPRs)吸收峰位于600 nm-1400 nm。(e)在太阳辐射
表面的温度-时间曲线。目前很少报道金属氧化物等离子结构，尤其是具有宽带吸收的金属氧化物。该工作报道了一种便宜且稳定的RuO2 NPs等离子太阳光热空气电极，以有效地收集宽光谱的太阳光并将其转换为热量，以

资料来源：Solar Energy，中金公司研究部表面钝化是提高光伏电池转化效率的关键影响光伏电池片转化效率的因素主要包括光学损失和电学损失。光学损失包括光的表面反射、表面遮光和光谱
。非晶硅镀膜工艺对清洁度要求很高，因此实现大规模量产的难度也较大。目前非晶硅沉积的主流工艺方法为PECVD(等离子增强化学气相沉积)。PECVD根据结构设计可分为直列式和团簇式，团簇式PECVD产能

，成为中国光伏装备第一股。捷佳伟创系业内较早开始开发HJT整线设备的厂商。HJT电池制备的第三道核心工序是制作透明导电膜，行业内主要采用 PVD(磁控溅射)和 RPD(反应 等离子体沉积法)两种方式
HJT电池生产制造过程中，设备是整个流程环节中的重要一环。此次泰兴项目前，爱康长兴基地已经引进了捷佳伟创全线四道工序的整线设备，在关键工艺设备上实行了共同研发。双方聚焦等离子化学气相沉积镀膜设备

为系统工程，存在难度但潜力可期 (一)技术路线优势各异，降本提效殊途同归 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)指借助微波或射频波使腔室内的反应气体分子电离，形成的高化学活性等离子体在基片表面
层的厚度需控制在 5~10 nm，其质量的好坏将直接影响电池片的输出效率，对薄膜的均匀性、致密度、容错率要求非常严苛，设备技术难度大，壁垒高。 PECVD根据等离子发射源的运作情况，可分为动态

。中国自行研制的超导托卡马克受控核聚变装置(EAST)与美国NIF实现聚变的方式不同。目前托卡马克实现了磁束缚等离子体和中心温度1亿度，下一个目标是维持束缚，且达到1亿度维持1000秒。位于法国南部的
通力合作ITER。ITER装置主机最重要部分之一的PF6线圈，由中科院合肥研究院等离子体所承担研制并于近日正式交付，为ITER计划2025年第一次等离子体放电的重大工程节点奠定了重要基础。 (四)高性能