光伏咨询搜索-索比光伏网

技术水平相当。同时，硅烷流化床技术的应用也在进一步推进，将会进一步降低多晶硅生产成本。预计新的硅烷流化床技术量产之后，作为现有主流西门子法多晶硅产品的部分补充，其成本有可能降至10美元/千克以下
级硅料的生产上，流化床法的综合指标优于改良西门子法，比如以硅烷为基础的流化床法，就具备低沉积电耗和可连续运行两个核心优势。而随着各领域技术进步，流化床法在纯度方面的困扰也在逐步解除，现有技术已完全具备

/公斤以下，还原电耗由120千瓦时/公斤降至75千瓦时/公斤以下，少数先进企业综合电耗已降至70千瓦时/公斤以下，还原电耗已降至45千瓦时/公斤以下，这一指标与国际先进企业技术水平相当。同时，硅烷流化床
技术的应用也在进一步推进，将会进一步降低多晶硅生产成本。预计新的硅烷流化床技术量产之后，作为现有主流西门子法多晶硅产品的部分补充，其成本有可能降至10美元/千克以下。赵家生在分析中国多晶硅产业现状及

预测的时问内需求持续强劲，越来越多的企业寻求低成木的太阳能多晶硅制造工艺，其中正在研发的专门用于太阳能多晶硅生产的相关技术有：改良西门子法的低价格工艺、硅烷热分解法、硅烷流化床法、锌还原四氯化硅法、氢
还原四氯化硅法、冶金法、气液沉积法、电化学沉积法等。其中硅烷流化床法己经开始在如RFC，MEMC等工业化生产，而气液沉积法最初是由口木德山To-kuyama开发的一种多晶硅的工艺技术，其可看做是一种改良

19.5亿元的硅烷法多晶硅技改项目竣工投产，多晶硅生产平均成本较去年同期下降7％左右，单位综合能耗及制造成本继续保持全球同行业领先水平。协鑫硅材料S系列、G系列高效新品研发取得突破，光电平均转换效率稳居全球先进水平，成为目前市场上最具统治力的高效多晶硅片产品。

取得了新进展。总投资19.5亿元的硅烷法多晶硅技改项目竣工投产，多晶硅生产平均成本较去年同期下降7％左右，单位综合能耗及制造成本继续保持全球同行业领先水平。协鑫硅材料S系列、G系列高效新品研发取得突破，光电平均转换效率稳居全球先进水平，成为目前市场上最具统治力的高效多晶硅片产品。

氨气离化，再轰击硅烷气，产生SiNx分子沉积在样品表面。这种设备目前的主要制造商为德国的Roth&Rau公司。（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种
优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，另外沉积速率很高。如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类：■0Hz：直流间接法OTB公司■40KHz：Centrotherm公司管式直接