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综合

，此乃因為玻璃的形變溫度只有650℃。因此，LTPS技術即是特別應用在平面顯示器的製造上的多晶矽成膜技術。現在已有許多方法可以在玻璃或塑膠基版上製造LTPS薄膜
氫量低的 a-Si，然後再結晶為多晶矽薄膜。為什麼使用LTPS? LTPS 薄膜的製備遠比a-Si複雜許多，然而LTPS TFT的載子遷移率(mobility) 比a-Si TFT 高出一百