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不稳定性，使非晶硅太阳能电池的转换效率存在严重的光致衰退效应，这个问题至今尚未解决。微晶硅可以在接近室温的低温下制备，特别是使用大量氢气稀释的硅烷，可以生成晶粒尺寸10nm的微晶硅薄膜。到上世纪90年代
)的叠层太阳能电池转换效率已经达到14%，显示出良好的应用前景。然而，由于微晶硅薄膜中含有大量的非晶硅，所以不能像单晶硅或非晶硅那样直接形成pn结，而必须做成pin结。因此，如何制备获得缺陷密度很低

（ECR-CVD）制备异质结太阳电池。ECR-CVD具有以下几个好处：改善淀积工艺的控制、对生长薄膜的离子损伤少、等离子密度高以及有可能得到高淀积速率。许多作者已经报道了用ECR-CVD在低温下淀积微晶(c
的生长条件后，制备了有光学抗反射TCO层的氢化微晶硅氧化物（c-SiOx:H）异质结太阳电池。其转换效率高达12%。这证明了这种简单加工方法的技术潜力。实验和结果实验中采用的ECR-CVD系统是单一

证明少子寿命越高，太阳电池的短路电流、开路电压也会越高。因此开展对本征非晶硅薄层钝化后硅片少子寿命的研究是制备高效HIT电池的前提和关键。2实验实验采用PECVD技术，在单晶制绒硅片上双面沉积本征非晶硅
过程中，通过改变本征层厚度、沉积气压、射频功率、氢稀释度和硅片清洗工艺制备不同的非晶硅薄膜。利用WT一2000PV测试钝化后硅片少子寿命，最终通过比较少子寿命来优化本征非晶硅膜的沉积条件。3结果与讨论

。该项目经费总额达7.57亿元，国家科技支撑计划专项拨款1.57亿元，下设研究课题14个。其中，宁夏发电集团承担的冶金法制备太阳能级多晶硅关键技术研究及工业示范课题获得2856万元，是支持经费额度最大的
课题。冶金法是该集团研发的具有自主知识产权的太阳能级多晶硅生产技术，具有低成本、低能耗、低污染等优势。三氯氢硅歧化法制备高纯硅烷技术研究课题由内蒙古神舟硅业有限责任公司承担，获专项经费603万元。该

西门子法多晶硅生产在工艺过程中如氯硅烷合成、还原、氢化等，将伴随产生大量氢气、氯化氢、三氯氢硅和四氯化硅等，其中主要的副产物是四氯化硅、氯化氢、氢气以及高低沸点物。应该说，从技术上来看，多晶硅的环保
的现象。多晶硅生产中所产生的高低沸点物等较难回收的副产物，目前国内多数企业采用淋洗、碱中和等方式处理，部分企业也已投入了歧化处理、白炭黑制备等设备进行处理。有效、合理地处理多晶硅的副产物，不仅是减排环保的要求，也有利于提高企业综合经济效益。因此，多晶硅生产造成污染的问题也已得到解决。

国际先进水平。本次报告，廖显伯研究员向大家详细介绍了国际研究机构在硅基薄膜太阳电池研究上获得的最新成果。美国united solar公司制备的小面积非晶硅/非晶硅锗/纳米硅太阳电池效率已经达到了16.3
性价比就会大大提高。廖显伯研究员还向大家介绍了硅基薄膜太阳电池在太阳能电解水制氢方面的新型应用。水电解生成氢气和氧气，氢气燃烧后再重新变成水，所以氢气是真正洁净的清洁能源。会后，廖显伯研究员与我所

大量氢气、氯化氢、三氯氢硅和四氯化硅等，其中主要的副产物是四氯化硅、氯化氢、氢气以及高低沸点物。应该说，从技术上来看，多晶硅的环保问题并不存在技术瓶颈，相对于其他化工企业，多晶硅的污染源单纯、易处理、易
多数企业采用淋洗、碱中和等方式处理，部分企业也已投入了歧化处理、白炭黑制备等设备进行处理。有效、合理地处理多晶硅的副产物，不仅是减排环保的要求，也有利于提高企业综合经济效益。因此，多晶硅生产造成污染的

西门子法多晶硅生产在工艺过程中如氯硅烷合成、还原、氢化等，将伴随产生大量氢气、氯化氢、三氯氢硅和四氯化硅等，其中主要的副产物是四氯化硅、氯化氢、氢气以及高低沸点物。应该说，从技术上来看，多晶硅的环保问题
现象。多晶硅生产中所产生的高低沸点物等较难回收的副产物，目前国内多数企业采用淋洗、碱中和等方式处理，部分企业也已投入了歧化处理、白炭黑制备等设备进行处理。有效、合理地处理多晶硅的副产物，不仅是减排环保的要求，也有利于提高企业综合经济效益。因此，多晶硅生产造成污染的问题也已得到解决。

。多晶硅生产的环保问题也是国内多晶硅企业和社会各界所重点关注的问题。改良西门子法多晶硅生产在工艺过程中(如氯硅烷合成、还原、氢化等)，将伴随产生大量氢气、氯化氢、三氯氢硅和四氯化硅等，其中主要的副产物是
四氯化硅、氯化氢、氢气以及高低沸点物。应该说，从技术上来看，多晶硅的环保问题并不存在技术瓶颈，相对于其他化工企业，多晶硅的污染源单纯、易处理、易防控。目前从我国多晶硅产业状况来看，多晶硅生产副产物利用

，提炼要经过以下过程：石英砂一冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。冶金级硅的提炼并不难。它的制备主要是在电弧炉中用碳还原石英砂而成。这样被还原出来的硅的纯度约98-99%，但半导体
过程：石英砂一冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。冶金级硅的提炼并不难。它的制备主要是在电弧炉中用碳还原石英砂而成。这样被还原出来的硅的纯度约98-99%，但半导体工业用硅还必须进行高度

技术，主要有：改良西门子法的低价格工艺;冶金法从金属硅中提取高纯度硅;高纯度SiO2直接制取;熔融析出法;还原或热分解工艺;无氯工艺技术，Al-Si溶体低温制备太阳能级硅;熔盐电解法等。多晶硅生产工艺：1
的电子级多晶硅产品。3、流化床法以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的

资本，再加上密西西比州的贷款和其他来源的资金，公司会用于建设它的太阳能工厂。晶硅片占太阳能电池的大部分，传统方法制备晶硅片，需要切割块状或柱状硅，形成200微米厚的硅片，这个工艺会把大约一半的硅变成
室，其中，高能氢离子束轰击3毫米厚的晶体硅盘。离子积累的精确深度是20微米，这是由光束电压控制的。一旦积累了足够的离子，机械臂就会快速移去硅片，然后放在炉子里，这样，硅中的离子就会形成微观氢气

索比光伏网讯:高能氢离子束轰击3毫米厚的晶硅盘，离子积累的精确深度达到20微米，机械臂就会快速移去晶圆，然后放在炉子里，这样，硅中的离子就会形成微观氢气气泡，这些气泡会扩大，在硅晶片中形成微小裂缝
，传统方法制备晶硅片，需要切割块状或柱状硅，形成200微米厚的晶圆，这个工艺会把大约一半的硅变成废弃物。业界使用200微米的晶圆，因为晶圆太薄，就很脆，往往会在生产线上碎裂。但在理论上，它们可以达到20至

，纳米线的制备采用丰富的天然材料，如硅和氧化锌（zinc oxide），这也提供了一种廉价的方法，可以大规模生产氢燃料。这是一种清洁的方式，可以产生清洁燃料，王德利（Deli Wang）说，他是
这种结构，他们的三维枝杈纳米线阵列（3D branched nanowire array）采用了一种工艺，称为光电化学（photoelectrochemical）水解，可以产生氢气。分解水所指的过程可以

。　　只有解决了“两头在外”的难题，我国的光伏产业才能健康、可持续地发展。　　多晶硅的制备从本质上讲是由冶金级硅到太阳能级硅的提纯过程。在用改良西门子法生产多晶硅的过程中，为了提纯虽然要
引入氢气和氯气，但最终产品并未将这些元素带走。如果使氢气和氯气在生产系统中不断循环，就会有效降低原料的消耗，同时减少环境污染。　　对于采用改良西门子法的厂家而言，无论从保护环境的角度考虑还是从

生产成本有效降低。届时，政府可以选择有利时机适时推出电价补贴政策，以较低的成本推动太阳能电池在我国广泛应用。只有解决了两头在外的难题，我国的光伏产业才能健康、可持续地发展。多晶硅的制备从本质上讲是由
冶金级硅到太阳能级硅的提纯过程。在用改良西门子法生产多晶硅的过程中，为了提纯虽然要引入氢气和氯气，但最终产品并未将这些元素带走。如果使氢气和氯气在生产系统中不断循环，就会有效降低原料的消耗，同时减少

，还原尾气中四氯化硅、氯化氢、氢气回收利用率不低于98.5%、99%、99%，平均综合电耗低于120度/公斤。单晶硅电池的产业化转换效率达到21%，多晶硅电池达到19%，非晶硅薄膜电池达到12%，新型
电子级多晶硅生产线；支持高效率、低成本、大尺寸铸锭技术，重点发展准单晶铸锭技术，突破150-160微米以下新型切片关键技术；重点支持低反射率的绒面制备技术、选择性发射极技术及后续的电极对准技术

、产品质量和环保水平的同步提高，还原尾气中四氯化硅、氯化氢、氢气回收利用率不低于98.5%、99%、99%，到2015年平均综合电耗低于120度/公斤。单晶硅电池的产业化转换效率达到21%，多晶硅电池达到
、低成本的太阳能级多晶硅生产技术。在现有的基础上，通过进一步的研究、系统改进及完善，支持研发稳定的电子级多晶硅生产技术，并建立千吨级电子级多晶硅生产线。突破高效节能的大型提纯、高效氢气回收净化、高效化学