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综合

趋势是使用高前体温度和特殊化学品，因此越来越多的ALD应用面临这个难题。　　　　为了避免前体在化学品瓶与反应器之间的流道内凝结，包括阀门在内的整个管路都必须加热到高于前体升华温度的温度（通常高达250
°C）。工艺气体可能包括有毒前体以及臭氧等强氧化剂，因此阀座材料与化学品之间的化学相容性也是一个必须满足的要求。　　　　对于任何包含ALD的工艺生产量是一个影响盈利能力的关键因素，而具有高传输能力、快速