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综合
25.53%！中科院宁波材料所新型TOPCon电池实现新突破
来源：索比光伏
发布时间：2021-11-12 08:01:16
、掺杂
多晶
硅化物
薄膜
材料及制备、新型扩硼工艺、新型退火工艺/氢注入工艺、电极材料与工艺等)，以及量产型装备技术研制(管式PECVD、纳米氧化硅和掺杂
多晶
硅二合一设备)等方面取得系列成果，其中，n型和p型
多晶
硅化物
薄膜
FSI国际宣布在硅化物形成步骤中的金属剥离技术取得突破
来源：索比光伏
发布时间：2008-03-10 16:44:00
技术在自对准
多晶
硅化物
形成后去除了未反应的金属
薄膜
。通过实现这一新的工艺，IC制造商可以在钴、镍和镍铂
硅化物
集成过程中，大幅度减少化学品的使用和降低对资金的要求。新订购的FSI ZETA?
硅化物
多晶硅薄膜的制备方法 (2)
来源：索比光伏
发布时间：2007-06-20 01:49:04
利用金属如镍等在非晶硅
薄膜
表面形成诱导层，金属Ni与a-Si在界面处形成NiSi2的
硅化物
，利用
硅化物
释放的潜热及界面处因晶格失错而提供的晶格位置，a-Si原子在界面处重结晶，形成
多晶
硅晶粒，NiSi2
多晶硅 太阳能 光伏
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