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、激光刻蚀、离子注入三种方法，由此也产生了三种不同的子路线，每种子路线所对应的工序多达14步、12步和9步。资料显示，工艺成熟的丝网印刷虽然表面看起来工艺简单，具有显著的成本优势。不过，由于其容易造成
电池表面缺陷，掺杂效果难以控制，需要经过多次丝网印刷和精确的对准工艺，因而增加了工艺难度以及生产成本。激光刻蚀具有复合低、掺杂类型可控等优点，但工艺过程复杂，工艺难度大。离子注入具有控制精度高、扩散均匀

的基础工艺包括清洗制绒，扩散，清洗刻蚀，镀膜，激光开槽，丝印烧结等步骤。 (1) 清洗制绒由于硅片在切割过程中表面会产生大量的油污，金属污染和机械损伤，因此要对硅片进行酸洗(多晶)或者碱洗
达到 240min。因此 N 型电池所需成本更高，制备难度更大。 (3) 刻蚀扩散过程中磷(硼)会与硅形成磷硅玻璃层 PSG(或硼硅玻璃层 BSG),为富含磷元素的二氧化硅层，对后续工艺产生

行业发展历程，细数光伏行业的最高成就，见证着标杆的力量。光能杯，始终与行业同在! 江苏微导纳米科技股份有限公司是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微
导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。微导总部设在江苏无锡，由精英企业家和技术专家团队共同创立。微导的核心技术是先进的原子层沉积(ALD)和反应离子刻蚀(RIE)装备, 并为

-刻蚀等工艺，比如Kaneka的方案，就高达8个工序，涉及5个不同设备，制程复杂而昂贵(见下表)。而主流PERC电池只需一道炉管扩散工艺就完成p-n结的制备。 (来源：公开信息，普乐科技
收集区)直接覆盖整个背面，不需要对准，省略了原开槽和刻蚀工序; (3)从双面本征非晶硅到背面两层掺杂纳米晶硅层，可用一个设备连续沉积，适合大规模生产; (4)整个工艺制程大幅缩减到10步，工艺简洁