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) 溶液相结合的刻蚀液，并增加了硅片的插片间距，适度降低了制绒过程中的鼓泡速率，以便得到反射率一致的均匀结构的绒面。2) 低压扩散：太阳电池发射极常规的方阻平均值为 70～80 Ω/□，为有效提高此类
了脉冲频率、扫描速率和激光器输出功率之间的匹配性，利用激光热效应使栅线掺杂区方阻值达到 40～60 Ω/□。4) 背面刻蚀：用浓度为 20%、温度为 55～65 ℃的四甲基氢氧化铵 (TMAH) 溶液对

半导体工艺，同时“多次丝网印刷”、“精确对准工艺”、“离子注入”、“激光刻蚀”等技术，或设备昂贵，或工艺复杂，良率不高。目前仅有爱旭、中环(MAXEON)、隆基、黄河水电几家在做。但需要注意的是，这四
非晶硅与导电膜沉积设备，增加靶材需求。●需要双面银浆，且对印刷精度要求更高。●硅片、辅材、设备需要针对性开发以及提效降本。索比咨询认为，由于HJT是一个全新的技术路线，因此在产业生态上落后于更加成熟的

基础性材料。高纯石英砂作为生产单晶硅所使用的石英坩埚的主要原材料，将受益于光伏市场的增长以及N型单晶电池片的技术进步，有市场需求空间。据悉，石英材料在半导体产业的应用主要是在晶圆生产中的扩散和刻蚀工艺
，应用于刻蚀工艺的石英部件主要有石英环、石英保护罩等，应用于扩散工艺的石英部件主要有石英舟、石英炉管、石英挡板、套管等。高端石英材料是能够满足其高温、洁净、抗污染和耐蚀等工艺环境要求的先进材料。石英股份

6.5吉瓦迅猛增至2021年底的306吉瓦，连续7年位居全球首位。从10年前原材料、设备、市场“三头在外”，到如今占据全球主导地位的“多项第一”，我国光伏产业链国际竞争优势凸显。这十年，光伏产业如何
硅片经过制绒、刻蚀、镀膜等工序，成为深蓝色的电池片。“与传统电池片生产线相比，金堂基地运用5G、大数据等技术，用工减少约62%，生产效率提升约161%。”通威股份有关负责人介绍，基地共有17条生产线

工艺，因而增加了工艺难度以及生产成本。激光刻蚀具有复合低、掺杂类型可控等优点，但工艺过程复杂，工艺难度大。离子注入具有控制精度高、扩散均匀性好等特点，但其设备昂贵，且容易造成晶格损伤。参考爱旭股份的
HJT的单W成本较PERC高0.04-0.05元/W和0.2元/W，而完全掌握IBC生产工艺的企业，成本能够做到与PERC持平。与HJT类似的是，IBC的设备投资额相对较高，达到3亿元/GW左右。不过

性好等特点，但其设备昂贵，且容易造成晶格损伤。参考爱旭股份的ABC生产工艺，其主要采用了激光刻蚀的方法，生产工序多达14步。根据公司在业绩交流会上披露的数据，ABC的量产良率仅为95%，显著低于
类似的是，IBC的设备投资额相对较高，达到3亿元/GW左右。不过，受益于低银耗的特性，IBC的单W成本更低。值得一提的是，爱旭股份的ABC已经实现了无银技术。此外，IBC由于正面无栅线遮挡，外形较为美观

/钙钛矿层/空穴传输层HTL 组成的“三明治”薄膜结构，工艺包括薄膜制备、激光刻蚀、封装三大步，关键在实现大面积高质量薄膜制备。溶液涂布法(刮刀涂布机，狭缝涂布机，丝网印刷机)、溶液喷涂法(气压或超声
喷头，压电印刷设备)、气相沉积法(磁控溅射PVD, 反应式等离子体沉积RPD，真空蒸镀等设备)等薄膜制备设备正在同步发展。钙钛矿产业，谁在推进?协鑫纳米、纤纳光电等多家公司竞技钙钛矿光伏电池

科技有限公司产品展示单晶硅片再经过制绒、扩散、SE激光、刻蚀、退火、镀膜、丝网印刷等工序，被加工成为高质量的单晶电池片，它们再以串并联的方式焊接在一起，组成光伏组件，也就是我们通常说的太阳能电池
20%转换效率的基础之上，经测算，每提高一个点的转换效率，可以为下游电站节约5%以上的成本。宁夏隆基在传统的直拉单晶工艺基础上，进行科技创新，推动RCZ等领先技术在整个行业内的规模化应用，使连续拉晶效率提升150%;单台设备产量提升幅度100%;硅片能耗降低40%，成本降低60%以上。

一期工程开展环境影响评价。一期工程计划用地450亩，新建生产厂房、仓库及配套附属等建设内容，购置制绒清洗、硼扩散、链式刻蚀+碱抛光清洗、POLY、磷扩散、原子层沉积钝化、正背镀、烧结丝网印刷、自动化
流水线设备及相应辅助配套设施、装备等全自动化生产设备。一期工程达产后年产新型太阳能电池产能8GW。一期工程计划投资560216万元。二、项目的建设单位和联系方式建设单位：滁州捷泰新能源科技

行业发展历程，细数光伏行业的最高成就，见证着标杆的力量。光能杯，始终与行业同在! 江苏微导纳米科技股份有限公司是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微
导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。微导总部设在江苏无锡，由精英企业家和技术专家团队共同创立。微导的核心技术是先进的原子层沉积(ALD)和反应离子刻蚀(RIE)装备, 并为

-刻蚀等工艺，比如Kaneka的方案，就高达8个工序，涉及5个不同设备，制程复杂而昂贵(见下表)。而主流PERC电池只需一道炉管扩散工艺就完成p-n结的制备。 (来源：公开信息，普乐科技
收集区)直接覆盖整个背面，不需要对准，省略了原开槽和刻蚀工序; (3)从双面本征非晶硅到背面两层掺杂纳米晶硅层，可用一个设备连续沉积，适合大规模生产; (4)整个工艺制程大幅缩减到10步，工艺简洁

仍有一定差距，效率提升的空间更大; 2) 从工艺角度看，PERC 目前最成熟， TOPCon 需要在 PERC 产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而 HJT 电池工艺最简单、步骤最少
N 型电池技术工艺渐进成熟，降本提效明确驱动产业化提速，从而带动产业链投资机会。N 型硅料和硅片对于碳氧量、纯度等指标要求高，带动原材料、核心设备及工艺水平的提升，有利于产业链龙头生产和设备

及检测等环节，电池片生产分为清洗制绒、扩散、刻蚀、覆膜及检测等环节，而到了组件环节包括串焊、层压机检测等工艺流程。较长的产业链涉及技术路线与工艺流程多，行业降本提效诉求下的技术迭代和扩产节奏加速，设备
光伏技术迭代和产能扩张，拉动设备需求持续放量。光伏产业链分为上中下游，从硅料-硅片-电池-组件-电站等环节，而光伏设备主要集中在硅片、电池及组件生产环节。硅片生产主要包括生产、铸锭、开方、切割、清洗

在PERC产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而HJT电池工艺最简单、步骤最少(核心工艺仅4步)，但基本全部替换掉PERC产线，IBC电池工艺最难最复杂，需要是用离子注入工艺提供生产技术
门槛; 3)从成本角度看：PERC产业化最快成本低，TOPCon电池兼容性最高，可从PERC/PERT产线升级，IBC次之，HJT电池完全不兼容现有设备，需要新建产线，HJT单GW投资较PERC高