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需要使用不同的镀膜方法进行制备。主要方法可分为物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、原子层沉积 ALD。在光伏行业中应用较多的包括 PECVD, ALD, LPCVD, PVD 等技术
不良影响，并且可能导致 PN 结漏电，因此需要使用化学试剂对 PSG(BSG)层进行刻蚀清洗。 (4) 镀膜镀膜是光伏电池制备中的重要工艺，光伏电池根据结构的不同，钝化膜层的种类较多，不同材料的膜层

工艺设备。江苏微导：采用适用于 TOPCon 技术的 ALD 设备，已进入量产阶段 1) 夸父系列原子层沉积镀膜系统(ALD)：采用自主知识产权的反应腔体设计和先进的薄膜沉积技术,确保为晶硅
太阳能电池表面钝化提供高质量超薄三氧化二铝钝化膜。产能为 4000(片/小时，10nm) 2) 后羿系列板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统：微导 HY4000 系统结合了空间 CVD 和 ALD

玻璃有三种主要产品形态：超白压花玻璃、超白加工浮法玻璃，以及透明导电氧化物镀膜（TCO）玻璃。通常来说，硅片光伏组件主要使用超白压花玻璃或超白加工浮法玻璃，一方面可以对太阳能电池起到保护作用，增加
朋友，你听说过光伏吗？不就是用太阳能发电么？相信很多人都能脱口而出。与如今层出不穷的前沿科技相比，太阳能进入人们视野少说有几十年，确实不新鲜，而光伏企业近年也未掀起什么风浪。但在2020

光伏电池片是将降本追求到极致的行业，技术进步是其永恒的追求，而技术的快速迭代也构成了光伏电池设备的核心驱动力。站在当前时点，我们认为随着传统PERC技术的降本增效面临瓶颈，市场对新技术的追求将更加
异质结技术有希望成为下一代主流技术? 随着传统PERC技术面临提效降本瓶颈，行业对新技术的追求更加迫切光伏电池片是典型的技术驱动型行业，提效和降本是企业不断的追求。我们在2019年1月16日发布的

技术的数字化智能工厂解决方案、基于 ALD 原子层沉积镀膜技术、丝网印刷技术的 TOPCon 交钥匙整线智能设备和自动化产线上下料设备、光伏电池片转运无人 AGV 技术，及贯穿于全工序环节的
4 月 21 日，无锡尚德与行业领先的光伏智能制造整体解决方案服务商先导智能、江苏微导在无锡签订合作协议，三方将携手打造行业首个数字化 TOPCon 高效光伏电池整线智能工厂。尚德新能源投资控股

2020年12月15日，爱康科技宣布位于浙江爱康光电长兴基地的第一片异质结电池成功试样生产成功，效率高达24.59%，引起了业内的强烈关注。索比光伏网联系了爱康科技异质结设备解决方案提供商
，成为中国光伏装备第一股。捷佳伟创系业内较早开始开发HJT整线设备的厂商。HJT电池制备的第三道核心工序是制作透明导电膜，行业内主要采用 PVD(磁控溅射)和 RPD(反应等离子体沉积法)两种方式

爱康科技签署 2GW 异质结电池项目合作协议，聚焦 PECVD 和新式 TCO 镀膜设备的共同研发。金辰股份发布非公开发行预案，拟募集不超过 38000 万元用于年产 40 台(套)光伏异质结(HJT
供应的 PECVD 特点看，设备厂商在设计理念上各具特色，但体现出在提升镀膜质量和优化设备产能方面的持续追求。我们认为，通过多角度挖潜，PECVD 产能、效率、稳定性等仍具向上提升空间，提效降本

平台传输载板，能够在不破真空情况下同时完成隧穿氧化和掺杂非晶硅沉积，真正做到无绕镀。POPAID技术是全新的中国创新概念和技术，他是在光伏电池制造领域难得的中国原创、世界领先的镀膜概念
接触选择性同时提升的效果，均匀性更佳。对于掺杂非晶硅镀膜(PAID)工艺，该设备采用等离子强化的镀膜工艺，实现掺杂的非晶硅膜沉积，退火后掺杂浓度可高达41020原子/cm3，是常规离子注入浓度的一倍以上

高、镀膜工艺可控。PVD 方法基本原理是在电场和磁场作用下，使工艺气体 Ar 电离成 Ar+，形成等离子体，被加速的高能粒子(Ar+)获得高能量并轰击靶材，靶材表面的原子脱离原晶格而逸出，溅射粒子
沉积到衬底表面与氧原子发生反应而生成氧化物薄膜。PVD 溅射镀膜膜厚均匀易控制，镀膜工艺稳定可控，工艺重复性较好，靶材寿命较长，适合连续生产。但离子轰击对薄膜的性能损伤较大，转换效率相对较低。现阶段

升和成本下降、工艺成本降低以及电池转换效率的提高。 1)PERC 电池： PERC+打开转换效率优化空间：太阳能光伏电池已步入PERC+时代，SE、MWT、双面以及各类镀膜技术的
技术迭代叠加竞争性扩产，光伏设备需求景气周期有望延长。硅片环节：单晶渗透率加速提升，硅片向大尺寸迭代，未来三年硅片设备市场空间超 300 亿元。硅片环节产能结构性过剩，高效大尺寸硅片

、离子镀、RPD反应离子沉积等)、CVD(PECVD、LPCVD等)和ALD原子层沉积等真空镀膜设备上拥有先进技术和高端装备制造经验，形成工艺研究设备、规模化产线设备系列化产品，广泛应用于光伏、半导体、显示、纳米科技、化工、制药等领域，并拥有GW级光伏电池产线核心技术和设备制造经验。

共同开发基于ALD技术的新一代高效太阳能电池以来，双方已围绕ALD镀膜技术特点开发出多个针对高效光伏电池的全新应用。在后PERC电池技术，正如Bram Hoex 教授指出，ALD在所谓载流子选择性
原子层沉积技术以其优异的钝化效果，稳定的量产性能，近年在高效PERC电池生产取得了飞速的发展，并且在当前多种技术路线中生产成本最低，受到举世瞩目的关注。以微导为代表的国产尖端装备更是在高效PERC

氢原子向电池内部的扩散，因而无法避免由SiNx:H造成的LeTID衰减。黎微明表示，这个发现在组件产品的长期稳定性能方面显然具有重要意义。据光伏组件PID抗老化测试显示，在高温、高湿和高电压
9月5日，由中国光伏行业协会主办，索比光伏网、智新研究院承办的2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)在杭州举行。在电池结构及制备工艺的分论坛上，江苏微导纳米装备科技有限公司CTO黎微明

作为近年来光伏领域最受欢迎的研究课题之一，钙钛矿太阳能电池因其高性能、低成本和易加工性等优点而备受关注.短短几年内，它的效率从最开始报道的 3.8%增长到 2016 年报道的 22.1%，再到
PCBM溶液和BCP溶液，然后分别将溶液在2000r/min转速下旋涂30s和5000r/min 转速下旋涂 40s，得到沉积的 PCBM电子传输层和 BCP空穴阻挡层.最后，在样品表面利用真空镀膜设备

/吉瓦，薄膜电池对铟的需求量会进一步降低。相关光伏技术人员向媒体记者透露说。经测算，靶材喷涂中损耗及残靶上的铟回收率为98%，RC镀膜产生固废及无效Web上的铟回收率为95%，铜铟镓硒芯片转换效率
太阳能应用细分技术路线铜铟镓硒(CIGS)的逐步兴起，预计未来四年，铜铟镓硒光伏组件价格有望压缩至2.2元/瓦，铟作为一份子，还将从中受益，在稳步发展中迎来更广阔的应用空间。随着光伏产业的不断发展和平

整卷的有机太阳能光电池，成本低，可以形成产业规模。有一个主要障碍，但不会妨碍小型演示性有机光伏设备，这个障碍就是电极材料。一般来说，铟锡氧化物(ITO：indium tin
oxide)镀膜玻璃已被用作透明电极，这种材料实际上来自液晶显示器(LCD)产业。然而，这种材料缺乏灵活性，化学性质不稳定，这就提出了一个问题，太阳能光电板必须是强大的，要能够应付多变的室外条件