纯载流子浓度、少子寿命可以得出杂质的间接测量结果,FTIR可以得出间隙氧和替位碳的浓度,低温FTIR和PL可以得出B、P、Al的浓度,但是我们必须考虑到贯穿区熔硅锭的杂质分凝系数(SEMI MF 标准的测试方法。GDMS在高纯金属和合金领域的应用已有超过15年的历史(例如:ASTM测试方法 F 1953, F 1954, F 1710)。SIMS在集成电路领域的应用已经超过20年(例如:ASTM
(US); PIPER MATTHEW B (US); KAMINAR NEIL (US)
太阳能电池材料的蚀刻
WO2005013321
2004-7-19 CO LTD; SUNPOWER CORP
单块集成电路联接的太阳能电池,隔离性提高
US5164019
1991-7-31
1992-11-17
SUNPOWER