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综合

扩散到硅中去。箱法扩散，又称半开管扩散（如图４．３ｂ），是封管扩散的改进，采用一个石英或硅制成的带盖子的箱子，扩散时把硅片和杂质源一起放入箱内，盖上盖子送入扩散炉管中，炉管内的惰性气体起保护作用。封管
。4．2．2主要性能指标使用扩散炉时须满足一定的环境要求：环境温度５℃～４０℃；相对湿度＜７５％；海拔不超过２５００ｍ；电网电压波动不超过额定值１０％；环境洁净度不劣于１０００级；有良好的抽风排毒系统