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综合

扩散到硅中去。箱法扩散，又称半开管扩散（如图４．３ｂ），是封管扩散的改进，采用一个石英或硅制成的带盖子的箱子，扩散时把硅片和杂质源一起放入箱内，盖上盖子送入扩散炉管中，炉管内的惰性气体起保护作用。封管
室里面均带有风门调节板，一般情况下从上至下，逐步加大风门板。炉柜的底层安装有三管加热炉的功率部件（可控硅、散热器、接触器、变压器、过零触发器等）以及电源总进线转接板。底部正面的门板内侧装有散热

B相还原调压器供电。以次类推，每次预热3对棒，每炉预热3次。可以对任何一个炉进行硅芯调压预热。所有真空接触器和真空断路器的逻辑控制由PLC操作。　　　　三．还原调压器设计　　多晶硅50Hz交流的
连接到升压变压器原边。变压器副边1档额定输出V1（例如12kV）、2档额定输出V2（例如6kV）、3档额定输出V3（例如3kV）。K1真空接触器吸合，调压输出范围V1－V2；K2真空接触器吸合，调压