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综合

。 HWCVD的工作原理是利用分子在加热的金属丝上发生催化分解反应，并在基底表面发生沉积、聚合，从而形成薄膜。因此HWCVD又被称为催化化学气相沉积(Cat-CVD)。如下图所示
： HWCVD技术比PECVD技术发展起步晚了约20年，它与其他技术相比最大的优势是成膜速度快和可实现无损镀膜。随着HWCVD技术的不断成熟与发展，它在设备造价和运行成本上的优势也越来越明显，因此受到了