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太阳能光伏刻蚀清洗设备

来源：索比光伏发布时间：2012-05-23 15:43:19

;(5)打开射频电源，调节电压到工艺设定条件，真空室开始发出粉红偏白的辉光，再调节C1和C2匹配，使入射功率最大，反射功率最小;(6)刻蚀设定时间到后，关闭射频电源、氧气和四氟化碳;(7)继续抽真空，抽

、R3、C2等组成自激式振荡电路。加上输入电源后，电流经启动电阻R1流向VT1的基极，使VT1导通。VT1导通后，变压器初级线圈Np就加上输入直流电压，其集电极电流Ic在Np中线性增长，反馈线圈Nb产生3
正4负的感应电压，使VT1得到基极为正，发射极为负的正反馈电压，此电压经C2、R3向VT1注入基极电流使VT1的集电极电流进一步增大，正反馈产生雪崩过程，使VT1饱和导通。在VT1饱和导通期间，T1

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