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德国科隆-2009年6月9日，欧瑞康莱宝真空技术公司宣布推出具有创新性的新产品线RUVAC WH系列罗茨泵，该系列罗茨泵不仅能满足太阳能行业和制程工业的需求，而且也广泛适用于对工作压力
水平，比如可以在大气压下通过旁通管道（选配件）将泵启动。 “作为专注于真空工程的行业专家，欧瑞康莱宝真空技术公司一直注重把先进真空技术的最微小的细节应用于客户定制的整个真空系统的设计和生产中，以

)(600644) 参股四川新光硅业主要生产多晶硅太阳能硅片华东科技(000727)(000727)国内最大的太阳能真空集热管生产商春兰股份(600854) 大股东计划投资30亿开发新能源威远生化
)风电 600112长征电气(600112)风电 600151 航天机电太阳能 000690宝新能源(000690)风电 000690 宝新能源风电 000862 银星能源风电

公司、德国的莱宝真空公司、美国的EPV公司等。这些公司可以提供成套的非晶硅或者非晶硅/微晶硅双叠层太阳能电池制造设备以及相匹配的生产制造工艺。硅基薄膜电池出现投资热潮在世界范围内出现了硅基薄膜
(日本真空)、并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空)、团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司)、单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。目前，每一种系统都在电池制造商