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28%。只有尽量减少损失才能开发出效率足够高的太阳能电池。影响晶体硅太阳能电池转换效率的原因主要来自两个方面，如图1所示：(1)光学损失，包括电池前表面反射损失、接触栅线的阴影损失以及长波段的非吸收
方法(1)光陷阱结构。一般高效单晶硅电池采用化学腐蚀制绒技术，制得绒面的反射率可达到10%以下。目前较为先进的制绒技术是反应等离子蚀刻技术(RIE)，该技术的优点是和晶硅的晶向无关，适用于较薄的硅片

等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺。此外，液相外延法(LPPE)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。化学气相沉积主要是以SiH2Cl2、SiHCl3、Sicl4或SiH4，为反应气体，在
等就已经开始了对非晶硅电池的研制工作，近几年它的研制工作得到了迅速发展，目前世界上己有许多家公司在生产该种电池产品。非晶硅作为太阳能材料尽管是一种很好的电池材料，但由于其光学带隙为1.7eV

的太阳能电池。为了获得大尺寸晶粒的薄膜，人们一直没有停止过研究，并提出了很多方法。目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子增强化学气相沉积（PECVD
得到了迅速发展，目前世界上己有许多家公司在生产该种电池产品。非晶硅作为太阳能材料尽管是一种很好的电池材料，但由于其光学带隙为1.7eV，使得材料本身对太阳辐射光谱的长波区域不敏感，这样一来就限制了

23%；⑵ 抑制了高工作温度时的效率下降；⑶ 太阳电池加工比较简单，能在低于200℃的温度下进行。这种低温等离子加工技术很容易扩大规模，因而能大大降低制造成本。但是，大多数工艺研究是用等离子增强化学汽
（ECR-CVD）制备异质结太阳电池。ECR-CVD具有以下几个好处：改善淀积工艺的控制、对生长薄膜的离子损伤少、等离子密度高以及有可能得到高淀积速率。许多作者已经报道了用ECR-CVD在低温下淀积微晶(c

的发展营造了良好的环境。二是研发机构不断扩大，研发能力日益增强。中科院下属的物理研究所、化学研究所、电工研究所、半导体研究所、等离子物理研究所及广州能源研究所等从基础研究、技术研发、示范推广等方面围绕
应用研发，并把热利用专利技术进行产业化;2005年上海交通大学整合了太阳能研究所、燃料电池研究所、太阳能发电与制冷研究中心、光学工程研究所等相关研究机构，成立能源研究院，从事太阳能相关的技术研究与人

，然后烧结可以使N型层返回到P型。去周边用激光切割的方法或等离子体刻蚀法。激光切割可以在太阳电池电极印刷和烧结结束后进行。激光切割去周边时必须把激光束照在背电极上，而且不能让激光把硅片击穿，必须控制好激光
的强度和运行速度，才能做到去周边时对太阳电池的P-N结无影响。等离子体刻蚀法是目前在太阳电池制造业中应用得最多的一种方法，利用高频辉光放电手段将CF4离解成活性原子和自由基，各种游离基中F原子为主要的

、激光刻槽、等离子刻蚀（ＲＩＥ）和各向同性酸腐蚀。机械刻槽的工艺方法要求硅片厚度在２００ｍ以上，因为刻槽的深度一般在５０ｍ的量级上，所以对硅片的厚度要求很高，而这样的技术会增加成本。等离子刻蚀制备出硅片
、维护和发展方向。1晶体硅表面减反射及其制绒原理3.1．1晶体硅表面减反射原理在太阳电池中，其能量的损失有两种类型：光学损失和电学损失，其中光学损失主要体现以下３种方式：１．硅表面的反射损失，经处理的

索比光伏网讯:采用等离子体增强气相沉积法制备了双层氮化硅作为多晶硅太阳电池的减反膜，理论模拟了双层氮化硅的光学参数，实际测试情况和理论模拟吻合良好。电池IV参数表明双层氮化硅不但具有更佳的减反射效果
而且表面钝化效果也有所增强。批量试制结果显示电池转换效率提高了0.3%。1引言等离子增强气相沉积(PECVD)制备氢化非晶氮化硅(SiNx：H)已经成为工业太阳电池的标准工艺中一道工序。主要存在

文章（Feature Articles）。该论文首先提出了一种制备亚稳态纳米材料的普适性方法无接触相变方法。使用廉价的微米级颗粒作为原料，采用等离子体、火焰等高温束流加热并完全蒸发微米颗粒，蒸气在无接触
）、深紫外到中红外极宽波段内（0.25~11 m）的高透过率等优异光学特性。论文中进而把纳米非晶球组装成薄膜涂覆在太阳能电池Si片表面，测试表明能够显著减小入射光的反射损失（可减小53%），从而

引起光损失，短路电流损失，最多可高达7mA/cm2。挑战在于如何在效率和成本之间获得完美的平衡，还须考虑大规模工业生产。本文介绍两种可延长光学路径长度并因此提高外延薄膜硅太阳能电池效率的技术：等离子绒面
。但现在外延薄膜太阳能电池的主要缺点是它们的效率相对较低。已有两种技术表明能提高薄膜太阳能电池的效率。一是利用卤素原子等离子加工，优化上表面结构，另一种技术是在外延层/衬底界面处引入中间反射镜。优化的

索比光伏网讯:氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电池制备的主流，然而由于用PECVD来制备的氮化硅膜，是以SixNyHz方式来表达的，其中的x,y,z的数值直接影响了膜的光学性能和
层流状态。1.2PECVD过程中的微观过程（1）气体分子与等离子体中的电子发生碰撞，产生出活性基团和离子。其中，形成离子的几率要低得多，因为分子离化过程所需的能量较高。（2）活性基团可以直接扩散到衬底

制造高质量的电子材料时，却碰到了一个问题，即很难精确控制沉积过程的能量情况以及材料的属性。为此，弗洛维特团队使用了英国等离子探索有限公司研发的新奇沉积技术利用高靶溅射（HiTUS）来促进等离子溅射。氧化
铪是一种电绝缘体，能被用于制造光学涂层、电容器以及晶体管等。因为氧化铪的介电常数（电位移与产生电位移的电场密度之间的比率）比较高，而材料的介电常数越高，其存储电荷的能力越强，也就是说电容越大，有些公司

包括：①使用强关联电子体系材料的技术；②使用等离子体的技术；③使用波长转换材料的技术。这些技术都不局限于太阳能电池，还可以延伸到蓄电池、光LSI等新一代电子学和光学产品，是应用范围广泛的技术
显示出各自的效果。强关联电子体系材料是用于开发全新的太阳能电池的材料。与之相比，采用等离子体和波长转换技术有望使太阳能电池在原有技术的条件下提高转换效率。 ①强

我国的太阳能电池转换效率进一步提高提供一条途径。　　关键词：等离子体增强化学气相淀积；PECVD，太阳电池；氮化硅　　0引言　　氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电池制备的主流
，然而由于用PECVD来制备的氮化硅膜，是以SixNyHz方式来表达的，其中的x,y,z的数值直接影响了膜的光学性能和对晶体硅太阳电池表面和体内的钝化作用，因为其数值对于膜的折射率、消光系数、致密性都有

效更便宜的太阳能技术。科瑞艾登研究小组开发的金属光栅。来源：美国西北大学有一篇论文描述了这一成果，就是《宽波段非偏振谐振光吸收使用超薄等离子超级吸收剂》（Broadband
的波长，是由于局部光学共振会使光线花更多时间在材料内，直到它被吸收。这种复合超材料收集光，也可以有许多不同的角度，这是一种有用的性能，在处理阳光时就是这样，阳光照射太阳能电池有不同的角度，因为太阳全天

译/Oscar　位于德国阿尔岑瑙的莱宝光学设备有限公司（Leybold Optics）是世界领先的多应用领域真空系统生产商之一。作为由莱宝光学公司首席执行官Kurt Hkansson和首席财务官
Jrgen Schneider联合推出的前进策略的一部分，公司目前的产品系列分为了两个完全独立的单位：光学、Glass & Solar。拥有20多年国际光学经验的Antonio Requena，现在公司

性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳定，因此目前
ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。SnO2镀膜也简称FTO，目前主要是用于生产建筑用Low-E玻璃。其导电性能比ITO略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能适宜等优点。通过对普通Low-E的

180°时，即膜层的光学厚度为某一波长的1／4时，则2个矢量的方向完全相反，合矢量便有最小值。如果矢量的模相等，则对该波长而言；2个矢量将完全抵消，于是反射率为零。镀制有减反射薄膜的太阳电池的反射率R
层的光学厚度。当波长λ0为光的垂直入射时，因此，完善的单层减反射薄膜条件是膜层的光学厚度为1／4波长，其折射率为基片和入射媒质折射率相乘积的平方根。2 减反射薄膜的材料要想将光电池对光反~射引起的损失