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太阳能发电的广泛应用将帮助欧洲改善能源结构，实现2020年的温室气体减排目标。
廖振华介绍说，英利集团现已拥有大容量磁悬浮飞轮储能技术、N型硅高效太阳能电池生产技术、类单晶硅生长及缺陷控制关键技术研究、采用新硅烷法制备高纯硅等四大领先技术，具有从多晶硅生产，硅锭铸造，硅片切割，光伏电池生产

A、汽提：液体氯硅烷在此通过再沸器加热变为气体，以便在此对液体中的固体杂质进行分离，从而获得更加干净的氯硅烷。
D、气液分离器：在此设备内，液体氯硅烷与H2及HCL气体进行分离，氯硅烷从底部进入氯硅烷中间槽，H2和HCL从顶部进入回收系统。（四）、精馏系统：包括汽提、TCS粗馏和TCS精馏三个部分。

分离出来的气体H2和HCL根据企业工艺和设备情况回收至合成车间或是氢化反应器。液体氯硅烷一部分被泵入尾气洗涤塔来洗涤尾气，剩下的均进入汽提塔进一步除去固体杂质。
除杂后的氯硅烷进入粗馏塔进行STC和TCS的分离，STC为液体从塔底排出，TCS成气体从塔顶排出进入下一级精馏塔分别进行除重、除轻处理。精馏后的TCS进入TCS储槽，之后被泵入多晶硅还原工序。

由于硅烷反应很快，格栅的作用非常重要，合适的气体分布是很重要的。微粒的温度应与气体的温度接近一样。实际上，最好是微粒的温度高一点，这将类似于西门子反应器（其中，棒比气体要热一些）。
TCS和氢气的混合物引入钟罩反应器内，气体反应在棒上形成Si。可以用硅烷替代TCS使用作为前驱物。在某些情况下，也建议用三溴硅烷，这就是Schumaker工艺。

淀积参数如下：衬底温度170℃；源气体：硅烷(SiH4)，氢 (H2)，二硼烷（B2H6）；SiH4流量1sccm；总气体压强10 mTorr；微波功率600W。
工艺气体经ECR区上的进气口引入工作气体（H2），经位于基座上方的喷淋头引入工艺气体SiH4/Ar/B2H6。

然而，当功率进一步增大时，此时硅烷的分解已经相对比较充分，功率的增大对硅烷分解的贡献很小，高功率带来的粒子轰击作用增强。
工作压强从较低值开始上升时，参与反应的气体增加，到达基片表面的反应产物增多，同时压强适当提高，反应室内的等离子体密度增大，反应气体中活性粒子增多，从而得到高沉积速率、高质量的非晶硅薄膜。

晶盛机电称，REC可再生能源公司是太阳能产业领先的垂直整合公司，REC Silicon作为其分公司是世界上规模最大的硅材料生产商之一，REC Silicon生产的太阳能和电子级多晶硅及硅烷气体，是光伏、
其在美国的两个工厂多晶硅产量每年20500吨，而硅烷年总产能超过29000吨。此次合作，双方将利用各自的优势，遵循优势互补原则，在硅材料晶体生长相关的工艺研发方面建立面向未来的战略伙伴合作关系。

，直接将硅烷气体进行玻璃镀膜，然后制作电极和封装。
非晶硅的原料是晶硅太阳能电池生产中西门子法生产多晶硅之前的硅烷气体，通过在硅烷（SiH4）中掺杂乙硼烷（B2H6）和磷化氢（PH3）等气体，在低成本基板上（玻璃、不锈钢）低温成膜，避开了成本最高和技术难度最大的西门子法工艺