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。真空泵逐级打开后，开始通电加温。抽真空的过程虽然很简单，通常是先打开初级泵（机械、旋片或滑阀泵），从大气抽到2000Pa以下后，然后再打开罗茨泵，抽真空到10Pa左右；对于经过清洗的洁净块料，抽真空的
过程中，有时会遇到粉料。这些粉料通常是FDR循环流化床工艺中产生的。由于粉料的价格比较便宜，因此，不少铸锭厂家希望能够对粉料进行铸锭。对于粉料的处理，需要十分注意。因为，粉料在大气状态下很容易被真空泵所

真空度达不到工艺要求，导致提纯无法进行，还会容易导致石墨件氧化，以及硅的氧化。普罗的多晶硅铸锭炉的真空系统由机械泵（滑阀泵或旋片泵）、罗茨泵两级组成。真空系统要检查各级真空泵的运转是否正常，真空阀门密封
是否完好，阀门动作是否正确，管道内部是否清洁、真空表安装是否正常，法兰是否正常，等等。真空泵的冷却水也要认真查验。在工艺进行的过程中，需要对炉内进行充气保压，此时，将关闭主泵和主阀门，采用旁路阀用初级

导致石墨件氧化，以及硅的氧化。普罗的多晶硅铸锭炉的真空系统由机械泵（滑阀泵或旋片泵）、罗茨泵两级组成。真空系统要检查各级真空泵的运转是否正常，真空阀门密封是否完好，阀门动作是否正确，管道内部是否
清洁、真空表安装是否正常，法兰是否正常，等等。真空泵的冷却水也要认真查验。在工艺进行的过程中，需要对炉内进行充气保压，此时，将关闭主泵和主阀门，采用旁路阀用初级泵或者维持泵维持一个较低的真空度

真空泵是系统的关键组件，即使是很小的缺陷也会无法满足制造这些系统的严格质量要求。德国图宾根附近的都柏林 Zeltwanger Automation GmbH 每年要装配和测试 400,000 个泵
。测量保证制动力每个真空泵需要 40 秒才能在 Zeltwanger 装配和测试单元的圆步进台上完成完整旋转。测试单元会自动扭上盖并测试泵的密封性。确定所有密封件已装配且

100% 的跟踪。优势：DataMan 读码器可提供一流的读取率，即使最难读取的二维 DPM 码也不例外。 真空泵是系统的关键组件，即使是很小的
。测量保证制动力每个真空泵需要 40 秒才能在 Zeltwanger 装配和测试单元的圆步进台上完成完整旋转。测试单元会自动扭上盖并测试泵的密封性。确定

科技成果顺利通过中国知识产权局专利审核，全部获得实用新型专利授权。获得的六项专利中，仅碎晶体料分选设备就获得了三项专利；另外三项分别是：一种油桶清洗设备、一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置和一种水温
炉用真空泵自动注油装置大大提高了注油工作效率，并且不会产生漏油等环境污染问题。水温恒定冷却装置通过保温处理，保护纯水箱的温度不散失，可保证将单晶炉循环水温度误差控制在正负0.5摄氏度以内，为稳定拉晶

、一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置和一种水温恒定冷却装置。碎晶体料分选设备为该公司自主研发的自动碎料筛选机附件设备,可同时实现碎晶体料分拣的输送、除尘、分拣、规格归类等工作，代替了人工操作，实现了
碎料加工量产；同时，碎晶体料处理质量得到了明显提高，保障了单晶品质。油桶清洗设备为该公司滤油车间清理油桶的专用设备，该设备实现了油桶清洗的自动化。单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置大大提高了注油

15,000台泵。也是中国半导体、平板和太阳能行业尾气处理产品的市场领导者，已经在本地安装了800多套尾气处理系统。位于北京的新工厂可以维修各种 Edwards 湿式和干式真空泵，并可支持 STP
技术支持工作。 Edwards 发明了经济型低维护无油“干”式真空泵的概念，其尾气处理系统阻止了有害气体的排放，使 Edwards 的整体碳排放量为负*。有关 Edwards 信息请访问 www.edwardsvacuum.com. *温室气体排放协议 –- 范围3间接排放消息来源　Edwards

2011年2月22日，上海－欧瑞康莱宝真空公司将在SNEC第五届（2011年）国际太阳能光伏展览会上，推出适用于研发和试验的镀膜系统以及全新系列真空泵MAGiNTEGRA和DRYVAC
油封式旋片泵、滑阀泵、无油干泵、罗茨泵、涡轮分子泵、油扩散泵、低温泵，以及标准和定制化的研发用镀膜系统。同时，欧瑞康莱宝真空还可以提供本品牌及跨品牌的真空泵维修服务，从而更加丰富了整个真空产品链

%的能耗来自于真空泵和尾气处理系统，Edwards一直都在提高其性能以实现成本的降低。”Edwards亚太区总裁Neil Lavender-Jones说，“Edwards与业界同行的不同之处在于，我们
并非提供整条生产线，而是专注于为制造设备提供配套的干式真空泵、分子泵和尾气处理系统等。” 选择最佳成本和能耗的真空泵需要充分了解尾气处理和工艺设备对于真空的要求，以及真空系统的分布状况。太阳能和最新的