湿法黑硅技术的代表企业有阿特斯、保利协鑫、无锡尚德、比亚迪、苏美达等。据统计,2017年底国内湿法黑硅设备已经超过100台,产能超过10吉瓦。 到目前为止制绒添加剂技术、干法黑硅技术(反应离子刻蚀法Reactive Ion Etching,RIE)和湿法黑硅技术(金属催化化学腐蚀法metal Catalyzed Chemical Etching
目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法(Reactive Ion Etching,RIE)技术,以及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法(metal Catalyzed Chemical Etching,MCCE 以现有设备来看,RIE技术因效率提升较高、已有量产实绩等因素较被市场接受,然而其机台价格昂贵,让不少欲进入者踌躇不前。
目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法(Reactive Ion Etching,RIE)技术,以及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法(metal Catalyzed Chemical Etching,MCCE 以现有设备来看,RIE技术因效率提升较高、已有量产实绩等因素较被市场接受,然而其机台价格昂贵,让不少欲进入者踌躇不前。
目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法(Reactive Ion Etching,RIE)技术,以及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法(metal Catalyzed Chemical Etching,MCCE 以现有设备来看,RIE技术因效率提升较高、已有量产实绩等因素较被市场接受,然而其机台价格昂贵,让不少欲进入者踌躇不前。
目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法(Reactive Ion Etching,RIE)技术,以及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法(metal Catalyzed Chemical Etching,MCCE 以现有设备来看,RIE技术因效率提升较高、已有量产实绩等因素较被市场接受,然而其机台价格昂贵,让不少欲进入者踌躇不前。