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太阳能
光伏技术——多晶薄膜与薄膜太阳电池
来源:索比光伏
发布时间:2007-06-08 17:25:55
有化学吸收,使光电导率衰减。 未掺杂的CdS薄膜的电阻率高,不是由于膜的不连续引起的,很可能是由于
氧气
介入,氧俘获导带电子,形成化学吸附,存在晶界的多晶CdS薄膜更易吸收氧,在热退火过程中
)。同样,增加氧偏压,减小源-衬底间距也能使电阻率降低。另一方面,反应室内氧偏压也能增加电导率,因为
氧气
与Te反应生成TeO2,而TeO2由泵系统从反应室中排除,这有利于生成富Cd层的CdTe
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