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／Pd金属化电极和减反射膜等。后来的高效电池是在这些早期实验和理论基础上的发展起来的。　　单晶硅高效电池　　单晶硅高效电池的典型代表是斯但福大学的背面点接触电池（PCC），新南威尔士大学
太阳电池表面采用pECVD法镀上一层氮化硅减反射膜，由于硅烷分解时产生氢离子，对多晶硅可产生氢钝化的效果。　　在高效太阳电池上常采用表面氧钝化的技术来提高太阳电池的效率，近年来在光伏级的晶体硅

结，绒面，氧化膜钝化，Ti／Pd金属化电极和减反射膜等。后来的高效光伏电池是在这些早期实验和理论基础上的发展起来的。单晶硅高效电池单晶硅高效光伏电池的典型代表是斯但福大学的背面点接触电池（PCC），新
硅材料，氢钝化的效果越好。氢钝化可采用离子注入或等离子体处理。在多晶硅太阳电池表面采用pECVD法镀上一层氮化硅减反射膜，由于硅烷分解时产生氢离子，对多晶硅可产生氢钝化的效果。在高效太阳电池上常采用表面

腐蚀或磨片法除去背面PN+结。(7)制作上下电极：用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结等工艺。先制作下电极，然后制作上电极。铝浆印刷是大量采用的工艺方法。(8)制作减反射膜：为了减少入反射损失，要在硅片
表面上复盖一层减反射膜。制作减反射膜的材料有MgF2，SiO2，Al2O3，SiO，Si3N4，TiO2，Ta2O5等。工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法，溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法等。(9

科技股份有限公司研发总监。　　摘要：本文针对目前国内在太阳能电池行业使用管式PECVD沉积氮化硅减反射膜时为了实现均匀性而随意调整工艺气体流量而做出实验性分析，避免在工艺过程中发现电池转换效率下降了而难以找到原因
。通过改变工艺气体的流量，对各项技术指标进行测量分析，结合国内外的一些文献，得出了工艺气体流量对氮化硅膜的直接影响，同时也直接导致了电池转换效率的变化。通过这些研究为制备高性能电池减反射膜提供实验基础，为

的"超白玻璃"。为了进一步提升透光率,玻璃内表面普遍采用压花工艺,减少光线的反射。最近几年来,在超白玻璃外表面镀减反射膜的技术悄然兴起,无锡尚德早在2、3年前就开始推广,其他的主流组件企业例如
晶澳太阳能等,也在近期开始使用,镀减反射膜玻璃的需求从无到有,开始快速启动。减反射膜玻璃可以提升组件的功率档位,大分布场合具有很好的经济效益,个股建议关注秀强股份。EVA:EVA胶膜用于电池组件的封装,早期

安装一个旁路二极管，可有效防止热斑效应。使用由深蓝色氮化硅层或二氧化钛层作减反射膜的太阳能电池片，确保了组件的良好外观。优质铝合金边框确保组件具有很高的抗风等级，结构合理便于安装。采用密封防水性良好
以150瓦－200瓦的大型民用和商用组件为主，兼顾其它型号规格的小组件。产品已经在德国、日本、韩国、美国和西班牙等国家实现批量出口。产品特点：电池片：电池芯片的减反射膜为增强等离子化学气相沉积的氮化硅

及各项技术指标达到或超过了同类进口设备的水平。 3、产品质量优势公司十分重视质量管理，生产和检测设备配置完善。每条生产线均配有硅片检测、清洗制绒、清洗甩干、扩散、刻蚀、去磷硅玻璃、沉积减反射膜
，大大提高了原材料的利用率，使企业的太阳能灯具生产具备同行业无法比拟的成本优势。二、对未来发展的展望 (一)公司经营的宏观环境目前，全球能源供应形势紧迫，居世界十大焦点问题(能源、水、食物、环境

工艺和金属管表面减反射镀膜650℃稳定性，但是减反射膜的生产工艺还不稳定。　碟式热发电系统关键问题在热机上，国内还没有任何可以公开的样品。我的个人实验室在考虑碟式系统摆脱斯特林热机，目前这只是个想法
　　-------访太阳能热发电专家、北京天羿洁源科技发展有限公司总经理王成伟　　编者按　　　　太阳能热发电是光伏发电技术以外的另一有着很大发展潜力的太阳能发电技术，它是利用高精度聚光器将

气相沉积设备、薄膜电池溅射设备、薄膜电池减反射膜涂装设备、薄膜电池脱水设备、薄膜电池物理气相沉积设备、薄膜电池激光划线器、薄膜电池激光切割机、薄膜电池超声波清洗设备、薄膜电池高纯水清洗设备
中国可再生能源学会理事长王伟成常州市市长喜文华中国可再生能源学会

单晶硅电池的转换效率最高,国内已达到17.6%。多晶硅电池的转换率也突破了16%。制造太阳能晶硅电池需要经过很多工艺，其中包括硅片清洗、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜和丝网印刷等
，它生成一层减反射膜沉积在电池片表面。三氯氧磷用于在电池片的扩散过程中与氧气反应生成磷原子，磷原子又作为光伏电池的n型掺杂物，渗透到硅片表层形成PN结。同时它还广泛应用于制药、染化、塑胶助剂、表面活性剂

依靠三大关键制造装备，即扩散炉， PECVD设备和丝网印刷机。其中应用于太阳能电池片扩散后，表面沉积一层减反射膜，形成“黑洞”吸收太阳光的PECVD设备又是关键中的关键。但由于其技术含量高、被少数
发达国家垄断，价格昂贵。在省科技厅支持下，中电48所集中力量研发PECVD设备，经过艰苦攻关，2005年成功研发出单管PECVD设备。“免费给客户使用，客户满意后再付款”，中电48所承诺。单管PECVD设备

：① 单双层减反射膜；②激光刻槽埋藏栅线技术；③绒面技术；④背点接触电极克服表面栅线遮光问题；⑤高效背反射器技术；⑥光吸收技术。随着这些新技术的应用，发明了不少新的电池种类，极大地提高了太阳能电池的
有用武之地。太阳能热利用具有广阔的应用领域，可归纳为太阳能热发电(能源产出 )和建筑用能(终端直接用能)，包括采暖、空调和热水。当前太阳能热利用最活跃、并已形成产业的当属太阳能热水器和太阳能热发电。? 2.1.1

备CdS薄膜，其方法主要是将含有3和Cd的化合物水溶液，用喷涂设备喷涂到玻璃或具有SnO2导电膜的玻璃及其它材料的衬底上，经热分解沉积成CdS薄膜。各国不同学者采用的工艺都基于如下热分解效应
2.67Pa-4.00Pa。该法的优点是，设备较简单，源利用率高，成膜质量好。缺点是，膜中有碘杂质存在。 2．4．5化学热还原法沉积Cu-In合金膜再进行硒化处理利用铜、钢的盐和氧化物在高温氢气氛中

，人们探索各种各样的电池结构和技术来改进电池性能，如背表面场，浅结，绒面，氧化膜钝化，Ti／Pd金属化电极和减反射膜等。后来的高效电池是在这些早期实验和理论基础上的发展起来的。1．2．1单晶硅高效电池
。在晶体生长中受应力等影响造成缺陷越多的硅材料，氢钝化的效果越好。氢钝化可采用离子注入或等离子体处理。在多晶硅太阳电池表面采用pECVD法镀上一层氮化硅减反射膜，由于硅烷分解时产生氢离子，对多晶硅可