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多晶硅*概述多晶硅英文名：polycrystalline silicon是由大量结晶学方向不相同的硅单晶体组成的硅晶体。它是单质硅的一种形态。
，西门子法不断完善，先后出现了第一代、第二代和第三代，第三代多晶硅生产工艺即改良西门子法，它在第二代的基础上增加了还原尾气干法回收系统、SiCl4回收氢化工艺，实现了完全闭环生产，是西门子法生产高纯多晶硅技术的最新技术