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存在于晶体中，并依靠热涨落在间隙之间跳跃构成填隙式扩散，扩散系数较大。对于替代式原子（基质原子、替代式固溶体中的溶质原子），一般认为，最常见的是空位式扩散。交换式扩散涉及一些原子的合作运动
扩散到硅中去。箱法扩散，又称半开管扩散（如图４．３ｂ），是封管扩散的改进，采用一个石英或硅制成的带盖子的箱子，扩散时把硅片和杂质源一起放入箱内，盖上盖子送入扩散炉管中，炉管内的惰性气体起保护作用。封管