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主要制造商为德国的Centrotherm公司、中国的第四十八研究所、七星华创公司。　　（2）板式PECVD系统：即将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上，放入一个金属的沉积腔室中，腔室中有平板型的
不是电极的一部分。直接法又分成两种：　　（1）管式PECVD系统：即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。这种设备的

再进一步提高转换效率是比较困难的。因此，今后研究的重点除继续开发新的电池材料外应集中在如何降低成本上来，现有的高转换效率的太阳能电池是在高质量的硅片上制成的，这是制造硅太阳能电池最费钱的部分。因此，在如何
层次，即从硅材料到硅片，再到太阳电池片，然后到太阳电池组件，最后到光伏发电系统应用（如下图所示）。硅元素在地球上的储量非常丰富，硅材料的来源—石英石在全球的分布也十分广泛。中国是硅矿的主要产地，优质石英

。然而，太阳能产业的快速成长和不断动态变化向所有企图在太阳能产业的供应链中站稳脚跟的设备供应商们呈现出一系列新的挑战。大量电池和面板制造商涌入这个行业，进一步加剧了问题的复杂性，已有的半导体设备供应商对
这些新入行的制造商并不熟悉。尽管许多太阳能终端用户使用激光工具已有一段时间，激光工具的有关工艺对于太阳能产业是特定的，拥有一套非常不同的工艺参数。我们在本文中回顾已有的和新出现的激光应用，并讨论

硅片晶圆生产设备：全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关设备电池生产设备：全套生产线，蚀刻设备，清洗设备，扩散炉，覆膜设备/沉积炉，丝网印刷
电池，铜铟镓二硒电池CIS/CIGS, 镉碲薄膜电池CdTe, 染料敏化电池DSSC 生产技术及研究设备 B、光伏电池：光伏电池

　　信息产业的快速发展，特别是光伏产业的迅速发展，将进一步刺激多晶硅、单晶硅等基础材料需求量的不断增长。预计未来几年小尺寸硅单晶的年产量仍在2500吨左右，同时8英寸、12英寸硅片产量也将有
硅基材料技术并实现产业化，无疑对促进硅基材料制造业的整体发展，掌握核心知识产权，根本改变产业的竞争格局有着积极的意义。　　上海合晶硅材料有限公司高工叶祖超在接受《中国电子报》记者采访时表示，企业要

：REC。这些公司分布在晶体硅太阳能电池产业链的各个环节，即晶硅制备(单晶硅、多晶硅、非多晶硅薄膜)、硅片生产、电池制造、组件封装四个环节。产业链最上游是太阳能晶硅制备，这个环节技术门槛高
(尤其是多晶硅)，具有一定垄断性，以Hemlock、Tokuyama、REC等公司为代表，它们掌握晶硅制备技术，占据全球太阳能多晶硅总产量的95%以上。第二个环节是硅片(Wafer)生产。这一环节的主要

厂家也有许多有待改进的地方。随着集成电路制造业向中国转移，带动了硅片的需求强劲上升，同时也为石英坩埚生产厂家带来了巨大商机。打破进口坩埚在大规模集成电路级的垄断，需要单晶生产厂和石英坩埚厂家的共同努力
，国内坩埚厂家的标准与国际标准一致。但是，国内坩埚厂家主要列出了A1、Fe、Ca、Cu、K、Na、Li、B等8种杂质含量的指标，而GE标准除这8种元素外还列出了As、Cd、Cr、Mg、Mn、Ni、P、Sb

潜力。2．1．1单晶硅材料单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂一冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。硅主要以siO2形式存在于石英和砂子中。它的制备主要是在电弧炉中用
设备可切割2一4MW／年的硅片。近期研究出可将85％的碳化硅磨料及油液经过离心机分离后重复使用工艺，可进一步降低材料消耗。2．2带状多晶硅制造技术为了减少切片损失，在过去几十年里开发过很多种

2005.1. Semi晶圆制造分会指出2005年全球晶圆出货63.85in2，比上年仅增长2%。尽管电子级硅（EG）的消耗每隔几年就会有波动，甚至硅片消耗量出现下降，但总体是稳步上升的，照此估计
：#l.G9y8TcmI0il 到2020年全球光伏发电量将占总发电量的1.1%。到2040年占21-26%，而在2050年以后，光伏发电量将达到50%以上。8_@(]7Yr:r6b