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综合

主要设备：CZ生长炉　　CZ法生长炉的组成元件可分成四部分　　（1）炉体：包括石英坩埚，石墨坩埚，加热及绝热元件，炉壁　　（2）晶棒及坩埚拉升旋转机构：包括籽晶夹头，吊线及拉升旋转元件
）加料：将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内，杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼，磷，锑，砷。　　（2）熔化：加完多晶硅原料于石英埚内后，长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定