该公司的举措进行了介绍：（a）改进形成电极的丝网印刷，把单晶硅太阳能电池的转换效率提高到接近18％；（b）借助利用激光形成微细布线的“Pluto技术”使单晶型的转换效率提高到18.8％，并且在2年内达到

的均匀性是一项很重要的指标，目前市场上太阳电池标准订的越来越高，尽管有些色差片的效率很高，也只能按照B级片处理。各种设备的标称均匀性列于表3。 表3 各种PECVD法的均匀性比较
。 　　四 结论 　　目前，产业化的SiNx镀膜技术还在不断的发展，每一种技术都有其特性点，也都有其不足。太阳电池向着新型特种结构和工艺的方向发展，对氮化硅膜提出了一些新的要求。 　　例如，有一种新型

数量级，可能发展为叠层钝化膜，如SiO2-SiNx、a-Si-SiNx等。 光衰减效应的研究是维持电池稳定、高效的前提。目前对这方面的研究主要还是基于体材料内部B-O复合体来开展，进一步的

Vangtuard I，体装式结构，单晶Si衬底，效率约10%（28℃）。到了1970年代，人们改善了电池结构，采用BSF、光刻技术及更好减反射膜等技术，使电池的效率增加到14%。在70年代和80年代

，人们探索各种各样的电池结构和技术来改进电池性能，如背表面场，浅结，绒面，氧化膜钝化，Ti／Pd金属化电极和减反射膜等。后来的高效电池是在这些早期实验和理论基础上的发展起来的。1．2．1单晶硅高效电池