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，以至成为废品。本章首先对光伏" title="光伏新闻专题"光伏刻蚀技术进行了简单的介绍，并在此基础上介绍了几类典型的刻蚀清洗设备的使用和维护。5.1刻蚀技术简介5.1.1刻蚀的原理在刻蚀工艺的前一步
等离子体刻蚀的几种基本方法示意图。(a)溅射法是由于能量离子的撞击而引起表面物质的原子急速蒸发和向外喷射的纯物理过程，这种方法选择性差，易引起器件损伤。(b)化学法是在化学方法刻蚀中，等离子体使中性原子基活化

扩散到硅中去。箱法扩散，又称半开管扩散（如图４．３ｂ），是封管扩散的改进，采用一个石英或硅制成的带盖子的箱子，扩散时把硅片和杂质源一起放入箱内，盖上盖子送入扩散炉管中，炉管内的惰性气体起保护作用。封管
；供水方面要求使用４英寸管供自来水（水压０．１～０．３ＭＰａ）作为冷却用，另外制备去离子水用作清洗及工艺；供气方面需要使用Ｎ２、Ｏ２、压缩空气（若设备使用气动阀则需要使用压缩空气），进气压力为０．３

瑕疵率和破片率，减少能耗，实现刀缝损失最小化，提高切削液回收效率，Pluriol系列有助于提高硅片生产的经济效益。 SELURIS Clean 让太阳能电池清洗更简单高效 SELURIS
用于光伏连接器和接线盒的特种聚酰胺Ultramid具有稳定性佳、阻燃、耐热变形、尺寸稳定等优点，适用于加工制造可承受雨、热、化学物质、石头冲击的户外用零部件。新推出的Ultramid B High

因子和20．8％（AM1.5）的效率。（B）钝化发射区和背表面电池（PERC）：铝背面吸杂是PEsC电池的一个关键技术。然而由于背表面的高复合和低反射，它成了限制PESC电池技术进一步提高
，用激光在前面刻出20m宽、40m深的沟槽，将槽清洗后进行浓磷扩散。然后在槽内镀出金属电极。电极位于电池内部，减少了栅线的遮蔽面积。电池背面与PESC相同，由于刻槽会引进损伤，其性能略低于PESC电池

％（AM1.5）的效率。（B）钝化发射区和背表面电池（PERC）：铝背面吸杂是PEsC电池的一个关键技术。然而由于背表面的高复合和低反射，它成了限制PESC电池技术进一步提高的主要因素。PERC和PERL
槽清洗后进行浓磷扩散。然后在槽内镀出金属电极。电极位于电池内部，减少了栅线的遮蔽面积。电池背面与PESC相同，由于刻槽会引进损伤，其性能略低于PESC电池。电池效率达到19.6％。（2）斯但福大学的

及加工，去除上下的杂质富集层后进行清洗，底部硅块和顶部大晶粒硅块各取6块，厚度25～30mm将其作为另一部分籽晶。将通过以上得到的25块籽晶按55的方式紧密排列平铺在内部尺寸为840840400mm的
430kg，籽晶的具体排列方式和籽晶、硅料及掺杂剂的填装方式如附图2a、2b所示，图2a图2b掺杂剂为硼、稼或磷，掺杂后目标晶体的电阻率为1.50～2.0.cm。装料后抽真空，控制功率进行加热；进入熔化

SHARP公司。主要工艺是：选择纯度较好的工业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向
凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分，经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中去除磷和碳杂质，直接生成太阳能级多晶硅。现在，只有BSI和ELKEM能够批量生产，DOW CONNING

，最低可达到80m。相对于业界领先的应用材料公司HCT B5线锯系统，这些改进减少了硅料损失使产量提高多达50%。更高生产力的线锯系统在同样的硅片产量下可以减少机台数量。因此，制造商可以大幅降低设备
成本为55美元/公斤。前面已经谈到，维护方便与否对总体生产力有着很大的影响。MaxEdge 系统的机械布局在设计上考虑到了维护的方便，使切割线替换和研磨浆喷头清洗等普通维护工作能够非常容易和快速地进行

展位费汇到大会指定账号。【PV Guangzhou 2012获补贴参展费用】1、标准展位：（3m×3m＝9m2）双开口另加收300元/个B区：2880元/个 C区：2280元/个 D区：1980
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太阳能电池是近15年来形成产业化最快的。生产过程大致可分为五个步骤：a、提纯过程b、拉棒过程c、切片过程d、制电池过程e、封装过程。太阳能电池的应用上世纪60年代，科学家们就已经将太阳电池应用于空间技术
区别以及逆变器的概念，将知识串连起来以便读者学习和了解。晶体硅太阳能电池的制造工艺流程晶体硅太阳能电池的制造工艺流程说明如下：(1)切片：采用多线切割，将硅棒切割成正方形的硅片。(2)清洗：用常规的硅片

行清洗，底部硅块和顶部大晶粒硅块各取6块，厚度25～30mm将其作为另一部分籽晶。将通过以上方法得到的25块籽晶按55的方式紧密排列平铺在内部尺寸为840840400mm的标准石英坩埚内，排列时按不同
的填装方式如附图2a、2b所示，掺杂剂为硼、稼或磷，掺杂后目标晶体的电阻率为1.50～2.0.cm。装料后抽真空，控制功率进行加热;进入熔化阶段后，采用温度控制分段加温，到熔化最后一步将加热器控制温度

做了大幅度调整和创新，推出了一款新型非晶硅RDCY-Z-4B全自动层压机，（如图2）其优势如下：将之前的双柱液压起升改为现在的四柱液压起升，这样起升更平稳，加热板更不易变形；其次，上箱带有高温布
循环系统并配有自动清洗功能；再次，层压机C级不锈钢多辊结构并配有多档冷却装置；最后，平板电脑触摸显示屏及windows操作系统，具有存储信息量大。升级改造的层压机使得设备外形更加细致，功能更加齐全，性能更加

大幅度调整和创新，推出了一款新型非晶硅RDCY-Z-4B全自动层压机，(如图2)其优势如下：将之前的双柱液压起升改为现在的四柱液压起升，这样起升更平稳，加热板更不易变形;其次，上箱带有高温布循环系统并
配有自动清洗功能;再次，层压机C级不锈钢多辊结构并配有多档冷却装置;最后，平板电脑触摸显示屏及windows操作系统，具有存储信息量大。升级改造的层压机使得设备外形更加细致，功能更加齐全，性能更加稳定

）： A、光伏生产设备：硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线、铸锭炉、坩埚、生长炉、其他相关设备硅片晶圆生产设备：全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备电池生产设备：全套生产线
、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备电池板/组件生产设备：全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等薄膜电池

后红外-装框(一般为铝边框)-装接线盒-清洗-测试(此环节也分红外线测试和外观检查.判定该组件的等级)-包装。　　埃孚光伏制造有限公司是一家中德合资的专业从事太阳能电池研发、生产和销售的高新科技企业
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设备硅片晶圆生产设备：全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷
机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备电池板/组件生产设备：全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等薄膜电池板生产设备：非晶硅电池、铜铟镓二硒

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