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作为硼源，虽然三氯化硼的副产物对石英器件基本无损伤，但受制于B-CL键能较大，扩散均匀性又略差于三溴化硼。4. 选择发射极-SE原理分析选择发射极指在金属栅线与硅片接触部位及其附近进行高浓度掺杂，减少
工艺流程。b. 一次硼扩+激光掺杂的工艺优势为工艺简单，设备数量需求较低，仅通过扩散炉+激光掺杂设备+清洗设备即可完成。一次硼扩+ + 激光掺杂工艺路径一次硼扩+ + 激光掺杂结构6.2 二次硼扩+激光

组件，进一步推动了TOPCon电池的产业化。但进一步促使业内企业下定决心的，却是晶科对TOPCon技术的进一步升级。2022年4月15日，深圳市海目星激光科技集团股份有限公司(以下简称“海目星
”)发布公告称，Topcon激光微损设备，收到国内首批大规模中标通知，这是海目星光伏激光及自动化设备、技术得到市场认可的有力佐证。一时间业内为之侧目。海目星何许人也?在此前处于胶着状态的N型电池竞赛中，它又起到