此外,Manz还提供了业界领先的湿化学处理工具IPSG CEI 4800,可与VCS 1200和LAS 2400生产工具配备形成一套完善的技术解决方案。IPSG CEI 4800主要用于去除硅片背面及边缘的重掺杂层,从而形成化学除边(CEI)。并在接下来的流程中,去除在之前扩散过程中残留在硅片正面的磷硅玻璃(PSG)层。由于应用了柔软的海绵辊和最小化基板压力的概念,IPSG CEI 4800可实现最低破片率。
Manz 集团首席执行官兼创始人Dieter Manz表示:“中国是目前世界最大的太阳能电池生产国,同时也是最大的消费市场之一。Manz很荣幸能参与其中,亲历中国太阳能产业成就辉煌。我们在太阳能产业拥有25年的丰富经验,全球主要电池生产企业基本上都是我们的客户。在激情成就高效能的公司理念指引下,我们一直通过不断创新来保持领先于竞争对手的市场地位,而PV SNEC 2014给了我们一个展示Manz最新技术的理想平台。”
图2. Manz LAS 2400激光开孔系统可用于背面钝化层的局部电极开孔,是一款操作简单、高精度、高产出的解决方案。
Manz 集团 ——激情成就高效能 (passion for efficiency)
Manz 集团总公司位于德国罗伊特林根城,是一家全球领先的高科技设备制造商。1987 年成立的Manz 公司,现已从自动化专家,成功发展成为生产设备解决方案的供应商。涵盖的技术领域包含自动化、激光工艺、真空镀膜、电极印刷、量测技术及化学湿制程,这些核心技术将应用于Manz在“显示器”、“太阳能”及“电池”三大策略领域的技术扩展,并将在未来持续向前发展。 Manz 集团于2006 年在德国公开上市,由创立者Dieter Manz 先生担任首席执行官,Manz 集团在德国、中国大陆、台湾、斯洛伐克、匈牙利及意大利皆设有自己的生产据点;而Manz 集团的业务销售及服务网路遍布全球,包括美国、南韩和印度。至2014年年初,Manz 集团在全球拥有约1,900名员工,其中在亚洲约有900 名。在该公司宣言“激情成就高效能”的推动下,Manz 承诺未来会为各种重点产业的客户,提供更高效能的生产系统解决方案。作为世界领先的设备制造商,Manz为其全球众多客户降低终端产品的生产成本作出了巨大贡献。
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