在光伏产业,Manz专注于晶硅太阳能电池和薄膜太阳能模块的生产工艺和解决方案。在晶硅领域,Manz可提供金属化、激光加工、湿化学处理以及真空镀膜相关的生产工艺和设备,同时还可提供自动化解决方案以及测试与检验方面的专业知识。
图1. VCS 1200电浆辅助化学气相沉积(PECVD)垂直式真空镀膜系统可用于在电池背面沉积氧化铝钝化层。
Manz VCS 1200系统采用全新的垂直式工艺技术,产量高达每小时1,200个硅片。由于配备高效能电浆和新式载具系统,该镀膜工艺不会在硅片上留下任何针印或未镀区,而这一技术优势正是其他许多同类厂商的系统所不具备的。此外,VCS 1200系统使得PECVD层可以实现单面沉积,而不会出现另一面也有边缘沉积的情况。Manz的高性能PECVD工艺技术保障了最佳的加工再现性,以及业界最高的太阳能电池效率和均匀性。由于该系统的快速清洗理念能让电池制造商在系统外部清洗工艺区和载具,实现了停机时间最小化。与其他厂商提供系统不同的是,仅需 VCS 1200单一系统就可沉积介电质钝化层。该系统不仅极易维护,还可轻松整合至现有电池生产线中,在正面、背面镀膜以及载具清洗等方面均实现了业界最低的拥有成本。
与VCS 1200系统一起推出的还有Manz LAS 2400激光开孔系统。该系统可用于背面钝化层的局部电极开孔,是一款操作简单、高精度、高产出的解决方案。Manz激光开孔技术为一站式工艺,不仅在这一电池生产流程保证了最低拥有成本,还实现了硅片的安全处理,将破片率降至业界最低。LAS 2400系统采用模块化、小体积设计,非常适宜现有生产线的升级。该系统每小时总产量为2,400个硅片,开孔宽度为30至100 µm。Manz晶硅太阳能电池生产解决方案结合了VCS1200及LAS2400的所有优势,将能提升PERC太阳能电池效率至20.5%!
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