目前硅基薄膜太阳能电池,无论单结、双结还是三结电池,制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)方法,真空腔的清洗基本是氟化物(SF6或NF3),排出物是含氟气体。 硅基薄膜太阳能电池商品化硅基薄膜太阳能电池有单结、双结和三结结构,光电转换效率分别为5%~6%、6%~8%、7%~10%,主要生产单位有美国的 United Solar System公司,欧洲的VHF-technologies
目前硅基薄膜太阳能电池,无论单结、双结还是三结电池,制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)方法,真空腔的清洗基本是氟化物(SF6或NF3),排出物是含氟气体。 硅基薄膜太阳能电池商品化硅基薄膜太阳能电池有单结、双结和三结结构,光电转换效率分别为5%~6%、6%~8%、7%~10%,主要生产单位有美国的United Solar System公司,欧洲的VHF-technologies