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综合

清洗时不易处理干净，杂质和水份残留在多晶硅表面，影响区熔成晶，甚至迫使中断拉晶操作。即使用作直拉料，也会由于杂质玷污，使单晶纯度下降。硅棒表面形态均匀性的根本原因是硅的沉积速度和硅棒表面所能吸收并使之
影响其中图3 中：a、环形空隙温度分布;b、无Soret热效应影响的TCS分布;c、Soret热效应影响下的TCS分布。温度升高，无论从化学反应平衡还是从反应动力学方面，都能够使反应向有利的方向进行