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系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。Etch bath：刻蚀槽，用于制绒。所用溶液为HF+HNO3 ，作用：1) 去除硅片表面的机械损伤层；2) 形成无规则绒面。Alkaline
Rinse：碱洗槽。所用溶液为KOH，作用：1) 对形成的多孔硅表面进行清洗；2) 中和前道刻蚀后残留在硅片表面的酸液。 Acidic Rinse：酸洗槽。所用溶液为HCl+HF，作用：1) 中和

黄河光伏日前宣布经过技术研发部经过近一年的技术攻关，公司在单晶和多晶高效电池技术研发方面取得了突破性的进展。通过采用氧化铝背钝化工艺，单晶电池转换效率达到了18.95%。多晶电池通过采用反应离子刻蚀
高效电池采用了RIE制绒技术，在多晶硅片制绒后使用等离子体在硅片表面进行轰击刻蚀，使硅片表面形成微小绒面，从而达到降低硅片表面光反射的目的，由于多晶硅电池对光的吸收增强，短路电流提高，电池转换效率因此提高

收购将有助于其改善研究工作。PlasmaPro System100的关键特征包括加工温度的范围广泛，从低温至高达400C。安哈尔特大学教授伯恩哈德(Bernhard)博士表示：无掩模硅干法刻蚀工艺可用
于处理硅衬底表面结构，以创造黑硅。降低反射率为电池光捕获提供了更大的潜力。启用干法刻蚀工艺创造表面结构独立于硅衬底的晶体结构，并且能够应用于硅片的一侧。我们选择PlasmaPro系统由于其为我们提供了研究需要的所有功能。

的转化效率突破20%，则可加速其产业化进程。未来此领域的研究趋势集中在以下两个方面：1、进一步优化电池的特性，包括：Al-p+发射极、背表面钝化、前表面场和钝化等；2、研发低成本设备，包括：激光刻蚀氮化硅设备、可丝网印刷的抗酸浆料等。