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伴随着全球光伏产业的发展而快速成长，目前中国电子科技集团公司第四十八研究所(以下简称48所)的光伏设备和光伏产品均产销两旺、供不应求，其中光伏设备的销售收入截至今年9月底已经突破10亿元
太阳能光伏产业的迅速崛起，48所在多年研发半导体集成电路关键工艺装备和电子工业窑炉等高温设备的基础上，就已经开始研发太阳能光伏产业所需的关键工艺设备。 2007年12月14日，长株潭城市群被

任务小组或工作小组，覆盖了包括硅材料、硅片、晶体电池、晶体组件、薄膜、原材料、测试方法、设备接口等在内的多个领域。截止2010年10月18日，SEMI已共计发布了23条光伏行业相关标准，在全球业界
得到广泛应用和推崇 E10-0304E——设备可靠性、可用性和可维护性定义说明Specification for Definition and Measurement of Equipment

，获得11项具有自主知识产权的核心技术。该所研发的高温扩散炉和等离子刻蚀机两种产品，多年在国内市场占有率高达80%。紧跟国际最新技术，该所还率先在国内研制成功首台八英寸程控扩散炉、ICP等离子刻蚀机等光伏
排到了3年之后，今年有望实现销售收入10亿元…… 目前，48所已不仅仅是提供单台设备，而且已成为全球首家能研发制造太阳能光伏全线生产设备的供应商。产品覆盖全国29个省区市，并出口到美国、英国、法国

越强，最终会卖得越好，设备制造商需要依靠创新来推动制造业务的增长。45nm在中国正在逐渐走向成熟，很多新的制造工艺和材料，如高k金属栅、低k互连电介质、更高的刻蚀、填充要求等等，都需要更完善的真空泵等
大且复杂的机台、繁琐的管道、漫长的传输带、高耸的价格，提及半导体或光伏制造设备，你首先想到的是不是这些？但很多时候，隐藏在视线以外不被注意的真空和尾气处理系统往往成为了制造的关键环节。它们一般安装

越强，最终会卖得越好，设备制造商需要依靠创新来推动制造业务的增长。45nm在中国正在逐渐走向成熟，很多新的制造工艺和材料，如高k金属栅、低k互连电介质、更高的刻蚀、填充要求等等，都需要更完善的真空泵等
索比光伏网讯:大且复杂的机台、繁琐的管道、漫长的传输带、高耸的价格，提及半导体或光伏制造设备，你首先想到的是不是这些？但很多时候，隐藏在视线以外不被注意的真空和尾气处理系统往往成为了制造的关键环节

实验室，MBE，磁控溅射仪，激光刻蚀系统，电化学系统，太阳能电池表征系统等大型仪器设备。具备了完善的太阳能研究实验条件。目前，研究团队包括：研究员3人，副研究员1人，助研4人，研究助理5人。根据研究需要
光电转换效率的铜铟镓硒(CIGS)半导体薄膜太阳能电池的设备及生产工艺，以及研究和发展新型的纳米材料太阳能电池。成立一年内承担“中科院重大科研装备研制项目”、“深港创新圈项目”等研究课题。拥有千级洁净间

，为创新和研发预留了充足的资金，在不断改进现有产品性能的同时，对前段和封装三维期间的TSV刻蚀技术和设备的研发投入了很多的资源。这使我们能在一个更主动的位置，以争取更多的市场机会。很多亚洲一流的芯片
制造商对我们产品的兴趣与日俱增，尤其是对我们Primo D-RIE 刻蚀设备。这个设备在客户生产线以出众的表现验证了其技术的优势，其结果超出了我们的预期。特别为关键及普通刻蚀应用设计的Primo

日前，东营光伏太阳能公司总投资2.1亿元、年产60MW光伏电池片项目开工建设，该项目主要以多晶硅晶片为原料，通过清洗、制备绒面、等离子刻蚀、去PSG等低耗能、无污染的工艺，生产光伏电池片
开发公司、巨丰节能设备公司等一批节能环保企业落户，在园区内刮起一股“低碳风”。对现有的新一代管业、芯片制造、高性能化学制品、石油新技术开发等产业门类，园区鼓励这些企业运用新技术进行改造提升

。因此，材料成本达到或低于每峰瓦5元人民币是可能的。　　考虑工资、管理、电力和设备折旧等其他成本，碲化镉薄膜太阳能电池的成本大约是每峰瓦13.64元人民币或更低。因此，即使销售价格为每峰瓦20~22
，可以用化学腐蚀或离子刻蚀去除CdTe膜面的高阻氧化层。　　物理刻蚀技术废料少，容易和其他工艺环节集成，但是不易获得厚度在10nm～100nm的高质量富碲层，该层对于形成良好欧姆接触特性的背电极是非

进行了新产品开发、产品技术升级和换代。”据裴二章介绍，目前45所已有多项新产品推向市场，如应用于12英寸晶圆封装的清洗、电镀、刻蚀、显影、剥离、减薄、划片、测试设备等；应用于太阳能光伏领域的大尺寸多
。此次展会主推产品之一──SSJ-100超声扫描显微镜是一种离线的检测分析设备，在失效分析、工艺开发、关键生产工序的监控及小批量产品检测方面有很大的优势，四十五所此项产品填补了国内该领域空白

、等离子刻蚀机、激光机和层压机、太阳能电池及组件的测试等设备已初步实现国产化。但由于这些工作见效慢，国家应该拿出资金对企业科研攻关予以补贴。　　另外，我国主要靠进口生产线、各产业链单兵作战的现状
例子可以说是我国光伏产业的现实写照。　　该企业致力于硅薄膜太阳能电池板的研发制造。相比晶体硅电池，硅薄膜电池具有工艺流程少、生产周期短、耗材少、能耗低、无毒无污染等优势，但设备昂贵、投资大，一条

光伏应用产品7亿元，增长75%；设备制造5亿元，增长66.7%；其他5亿元。目前，长沙共聚集光伏产业类企业50余家。其中，中电48所主要生产太阳能电池制造设备及太阳能电池；湖南科力集团、杉杉新材料等
企业主要从事耐高温太阳能储能镍氢电池生产；长沙韶光微电子总公司，主要生产半导体器件；曙光电子管厂、湖南汇盛索乐光电科技有限公司等企业，主要从事照明等太阳能光电产品、设备的研发与生产；湖南光伏

，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量
半导体设备行业是技术含量较高的行业，目前我国90%以上的半导体设备依赖进口，尤其在高端IC设备领域，几乎没有国内设备的声音。因此，从其他半导体设备领域取得突破后，再反哺IC设备可以说是中国半导体设备

个最前沿技术领域。IMEC光伏业务总监Jef Poortmans表示，先进的半导体工艺、材料和设备能力，使IMEC拥有高效率硅电池制造工艺。低成本是永恒的主题，降低晶硅电池晶片厚度，是IMEC光伏技术
Poortmans表示，创新的硅材料、硅外延和硅薄膜技术等也都会成为有效降低太阳能光伏成本的手段，IMEC就是要成为PV制造商、设备和材料供应商的交集点，从而达到加速创新（Accelerated